核心参数
产地类别: 进口
仪器种类: FIB-SEM
(电子光学系统)发射源: Cold cathode FE source
(电子光学系统)分辨率: 1.5nm@1kv,0.7nm@15kv
(电子光学系统)探针电流: 10nA
(电子光学系统)视野范围: -
(离子光学系统)发射源: Ga Liquid Metal lon Source
(离子光学系统)分辨率: 4nm@30kv
(离子光学系统)探针电流: 100nA
(离子光学系统)视野范围: 0.5μm*0.5μm~Φ2mm
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能源/新能源
2021/11/23
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