通过SEM-SPM-IM（离子研磨）联用进行钕磁铁性能改进研究

随着近年来汽车工业的发展，先进技术不断被应用到汽车行业中。但无论是燃油动力车还是电动力汽车乃至燃料电池车，发动机都是其核心动力单元。而对于发动机来说，永磁铁是非常重要的组成部分。永磁铁的性能稳定性是保障汽车安全行驶和使用寿命的重要因素。

 电动汽车引擎等，对Nd-Fe-B磁铁的性能有着很高的要求。纳米级结构、组织、磁畴等的晶体级别的精确控制检测，观察与性能评价缺一不可。这里，通过IM-SEM-MFM（离子研磨-电镜-磁力显微镜）的联用对热加工Nd-Fe-B永磁铁的结晶／晶向的同一视野纳米结构-成分-物理性质进行观察和评价。

(a) 热加工Nd-Fe-B磁铁的离子研磨的平面加工以及SEM-SPM观察联用

(b) 热加工Nd-Fe-B磁铁的结晶结构和热消磁状态的磁畴模型

(c) 单畴、多筹的模型　(d) MFM（磁力显微镜）的原理

(d) MFM（磁力显微镜）的原理

    下图是经过离子研磨的平面加工的呈现出明显的结晶颗粒的热加工磁铁，把SE（二次电子）像、BSE（背散射电子）像、AFM像、MFM像进行重叠的效果。在MFM/SE像中，每个微晶粒是单畴还是多畴很容易区分出来，并能鲜明的判读出结构与磁畴的关系。从MFM/BSE像中的BSE像可以看出白色的区域是没有磁性的富Nd区，MFM像中这个区域的对比度很弱。¹⁾

      热加工Nd-Fe-B磁铁的SEM-MFM观察结果、通过Azblend进行重叠解析（样品提供： 大同特殊钢株式会社）

      SEM-MFM的图像重叠后，可以得到单独的SEM像或者MFM像无法获知的丰富信息。

1) 山岡、辻川、安藤、蓮村、电气学会磁学研究会（特别报告）、MAG-15-161, IEEEJapan, pp.39-43, 2015.

作者：日立高新应用技术部：山岡武博、辻川葉奈、坂上万里、金子朝子、市场部：立花繁明

关于日立高新技术公司：

日立高新技术公司，于2013年1月，融合了X射线和热分析等核心技术，成立了日立高新技术科学。以“光”“电子线”“X射线”“热”分析为核心技术，精工电子将本公司的全部股份转让给了株式会社日立高新，因此公司变为日立高新的子公司，同时公司名称变更为株式会社日立高新技术科学，扩大了科学计测仪器领域的解决方案。日立高新技术集团产品涵盖半导体制造、生命科学、电子零配件、液晶制造及工业电子材料，产品线更丰富的日立高新技术集团，将继续引领科学领域的核心技术。更多信息敬请关注日立高新官方网站：http://www.hitachi-hightech.com/cn/