MRC激光系统光束指向稳定系统

MRC Systems GmbH成立于1995年，是由德国海德堡大学和德国癌症研究中心（DKFZ）共同成立的，为包括激光和医疗技术等 各个领域开发和生产具有创新性的产品。

经过近30年的发展，MRC公司在世界各地已经成功生产和出售多种激光领域的产品。MRC公司的激光领域的产品主要是光束自准直系统，已获得ISO 13485认证。

光束自准直系统原理

激光光束的理想位置和角度由一个或两个探测器定义。对于探测来说，通过-反射镜透过或者分光片分出的一小部分激光功率就足够了。闭环控制器连续确定激光光束与目标位置的偏差。该系统连续驱动压电镜架到所需的位置，以补偿偏差。

一个典型的设置如上图所示，其中使用两个压电镜架和两个探测器-在四个维度(4D)上-稳定光束。在此设置中，第一级的压电镜1 / 探测器1-在压电镜2上保持稳定位置。然后，第二级的压电镜2/ 探测器2保证应用处的正确的光束角度。

系统的组成及核心器件的介绍

系统介绍

优势：

◆该系统能确保总是有一个稳定的光束位置和方向

◆确保准直随着时间的推移始终保持稳定

◆精度优于0.1 μm / 0.1 μrad

◆只需将组件插入到光路中，无需在重新调整过程中花费时间

特点：

◆模拟的闭环控制，没有延迟和数字化步骤，速度更快、精度更高。

◆一键式开关，不需要参数设置，也可以不需要用电脑来通过软件来控制，使用快速且简单

◆可以不需要-分光片，因为可以利用反射镜本身透过的一小部分激光来探测

◆易于集成到现有的光路系统中-

◆镜架是纯压电驱动的，不会出现因电机启动导致的跳变现象，稳定性更高

◆体积小巧紧凑

性能规格：

◆所有波长:190nm ~ 3000μm，包括太赫兹波段(标准探测器波长范围:320nm ~ 1100nm)

◆所有重复频率：从单脉冲到cw所有脉冲持续时间(as, fs, ps, ns，…)

◆大动态范围：可选WID检测器，强度变化系数>1000

◆高速控制:连续信号处理，无采样延迟

◆分辨率/精度:<0.1 μm;<0.1 μrad(小至10 - 100 nm)

◆镜面直径:0.5至4英寸(根据要求提供其他尺寸)

自带功能：

◆功率水平和位置直接显示在探测器的背面

◆增益可调

◆各种信号输入和输出

◆手动粗调镜座

可选选项：

◆用于单激光脉冲或低重复率应用的采样保持电路

◆目标位置可调

◆真空组件，低至10-11mbar

◆外部触发，Rs232接口

系统的组成部分

宽带探测器

特殊探测器

压电镜架

可定制真空系统

和竞争对手的对比

软件介绍

主要界面如图所示：

◆菜单栏

◆控制栏

◆显示区。

（窗口的大小可以调整）

光束指向稳定性：

在指向模式下，软件可以显示采样点的中心和方差(均方根偏差)。

中心位置(x, y)、采样点数量和方差显示在图的左上角。

中心和方差也在图中可视化。方差对应于采样点到中心距离的均方根。

保存功能：

使用软件，可以以与存储示波器相同的方式来保存测量数据。

为此，可以通过数据保存菜单来实现此功能。

典型客户和安装案例

典型客户

◆上海科技大学

◆浙江大学

◆广东工业大学

◆之江实验室

◆中国科学院上海光学精密机械研究所

◆中国科学院上海高等研究院

◆中国科学技术大学-

◆复旦大学

◆中国计量科学研究院

◆南京先进激光技术研究院

安装案例