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杭州克柔姆色谱科技有限公司

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高纯绷烷中水的低温气相色谱分析

应用领域

石油/化工

检测样品

基础有机原料

检测项目

理化分析
早在 () 年代初，中科院大连化物所在国内首 倡了用低温法实现氧和氩的色谱分离（ . /0 1）， 之后因为低温法进行色谱测定的应用局限性，在 石油化工等领域基本不用。这儿定义的“低温” 是指低于一般色谱仪常用的色谱柱的温度 #- 2 $) 1。我们于 #))! 年在实现硅、磷、砷烷全分析的 同时，开展了硼烷中的杂质和成分分析的研究， 用低温法实现了硼烷中氢和总碳（甲烷）的分析

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氦离子化气相色谱仪

GC-126N PDD

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高纯绷烷中总碳的低温气相色谱分析

应用领域

石油/化工

检测样品

基础有机原料

检测项目

含量分析
摘要：用低温色谱法解决硼烷的分解问题，使硼烷中氢的分析成为可能。该法又能消除硼烷和四硼烷（B4H10）对氧、氮和甲烷峰测定的干扰。此方法的建立使硼烷的标准制定成为可能。

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高纯绷烷中氢的低温气相色谱分析

应用领域

石油/化工

检测样品

基础有机原料

检测项目

含量分析
高纯硼烷在半导体工艺中是重要的掺杂剂， 它的纯度很大程度决定了半导体器件的质量。高 纯硼烷的杂质分析一直是电子气的“老大难”。根 据半导体工艺的要求，硼烷中的有害杂质主要是 指氧、水、一氧化碳、二氧化碳和甲烷等，考虑 到提纯方法和制造过程中系统泄漏而造成大气环 境中 氧 和 水 对 硼 烷 的 污 染（氧 占 ,!S，水 占 !O.S T ,S）。

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高纯绷烷中氧的低温气相色谱分析

应用领域

石油/化工

检测样品

基础有机原料

检测项目

含量分析
只要整个硼烷制造工艺稳定， 对氢、甲烷、氧和水是必须要分析的，其中甲烷 和氢是工艺反应过程中很容易产生的；而氧和水 在工艺反应过程中不可能产生，除非系统泄露 （哪怕很少系统微漏），因泄漏而造成空气中的氧 和水与硼烷反应，则产生氢。

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高纯硅烷中痕量CO、CO2、H2O转化色谱分析

应用领域

石油/化工

检测样品

其他

检测项目

本文叙述高纯SiH4 中痕量杂质的转化色谱分析条件、装置及流程。通过弱极性有机担体柱有效地将PPM硅烷中级杂质与主组份分离。分离后的主组份经氢气氛下高温还原和电石转化生成烃类, 送高FID灵敏检测, 当进样量为1毫升, 记录仪为1毫伏(250毫米)时, 本试验所得灵敏度,CO.0.15vpm/min 。CH4 0.08vpm/, ,(样品直接送FDI检测灵敏度)。CO2.0.5vpm/min ,H2O 0.3vpm/min 同时,确定了较满意的分析操作参数, 提出了相应的分析流程。

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硅烷中H2，O2，Ar，N2，CO，CO2和碳氢化合物的检测-色谱检测

应用领域

石油/化工

检测样品

其他

检测项目

硅烷中H2O2ArN2COCO2色谱检测 硅烷是一和具有化学活性的气体,暴露在空气中会自燃;报以对硅烷的进样都有一定的要求;

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硅烷及其杂质的气相色谱分析

应用领域

石油/化工

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其他

检测项目

杂质分析
制备多晶硅时，用液氨法在低温下产生的硅烷，除主成份Sil 外，尚台H 、微 NH。、 sizH B、cH 、Hzo、oz、N：、PH。，以及痕量的B H 和A sH。等杂质，而其中有些杂质， 如CH．、H zO、Nz等，主要由液氨带入。因此，要加强原材料的分析，严格监控 艺过程 中硅烷气内的有害杂质，采取必要的纯化措施。这样，将大大提高由分解炉中析出的多晶硅 质量。采用气相色谱法分析硅烷及其杂质，由于它具有快速 灵敏、准确、进样量少等优点， 正逐步被人们采用。 本文主要介绍我们工作中用来分析SIH 及其CH

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准确快速测定高纯氮气中的杂质含量

应用领域

石油/化工

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其他

检测项目

杂质含量
　摘要: 简介了基于中心切割和脱氧法的HE50 型DID 氦离子化放电色谱仪的工作原理和工作 条件等参数。武钢氧气公司从实际生产出发, 对色谱仪的气路流程进行了改进, 经过分析试验, 建立了一套完整的分析方法。对高纯氮气中杂质含量的测量结果显示, 该分析方法可以满足生产 需要, 从而达到准确、快速测量高纯氮气中杂质含量的目的。

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用反吹法检测高纯氩气中总碳氢化合物含量

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:采用反吹法测定高纯氩气中大分子碳氢化合物,能够达到准确、快速测量高纯气体中 大分子碳氢化合物的目的。文章介绍了基于反吹法的FID50型色谱仪的工作原理和工作条件等参 数,阐述了该色谱仪在武钢氧气公司进行的分析试验和试验结果,以及对高纯氩样品气的测量结 果。

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高纯氩气中微量氮的（PDHID—GC）测定方法

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石油/化工

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其他

检测项目

：针对高纯氩气中存在着微量氮难以分析的问题，采用脉冲放电氦离子检测器气相色谱法(简称PDHID—Gc) 测定氩气中微量氮。该方法采用六通阀进样，检测器温度250 cI二，高纯氦气做载气，氮浓度在5 p．mo1]mol一50 p~nol／mol 时，标准曲线线性良好，测定了氩气中微量氮气体标准物质GBW 06309，结果与标准值基本一致，表明该方法操作简 便、准确度高。 关键词：气相色谱；氩

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高纯绷烷中杂质的低温气相色谱分析

应用领域

石油/化工

检测样品

其他

检测项目

摘要：用低温色谱法解决硼烷的分解问题，使硼烷中氢的分析成为可能。该法又能消除硼烷和四硼烷（B4H10）对氧、氮和甲烷峰测定的干扰。此方法的建立使硼烷的标准制定成为可能。

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