用反吹法检测高纯氩气中总碳氢化合物含量

早在 () 年代初，中科院大连化物所在国内首 倡了用低温法实现氧和氩的色谱分离（ . /0 1）， 之后因为低温法进行色谱测定的应用局限性，在 石油化工等领域基本不用。这儿定义的“低温” 是指低于一般色谱仪常用的色谱柱的温度 #- 2 $) 1。我们于 #))! 年在实现硅、磷、砷烷全分析的 同时，开展了硼烷中的杂质和成分分析的研究， 用低温法实现了硼烷中氢和总碳（甲烷）的分析

摘要：用低温色谱法解决硼烷的分解问题，使硼烷中氢的分析成为可能。该法又能消除硼烷和四硼烷（B4H10）对氧、氮和甲烷峰测定的干扰。此方法的建立使硼烷的标准制定成为可能。

高纯硼烷在半导体工艺中是重要的掺杂剂， 它的纯度很大程度决定了半导体器件的质量。高 纯硼烷的杂质分析一直是电子气的“老大难”。根 据半导体工艺的要求，硼烷中的有害杂质主要是 指氧、水、一氧化碳、二氧化碳和甲烷等，考虑 到提纯方法和制造过程中系统泄漏而造成大气环 境中 氧 和 水 对 硼 烷 的 污 染（氧 占 ,!S，水 占 !O.S T ,S）。

只要整个硼烷制造工艺稳定， 对氢、甲烷、氧和水是必须要分析的，其中甲烷 和氢是工艺反应过程中很容易产生的；而氧和水 在工艺反应过程中不可能产生，除非系统泄露 （哪怕很少系统微漏），因泄漏而造成空气中的氧 和水与硼烷反应，则产生氢。