2017/11/23 21:55
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产品配置单:
氦离子化气相色谱仪
型号: GC-126N PDD
产地: 浙江
品牌: 克柔姆
¥28万
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高纯绷烷中总碳的低温气相色谱分析
摘要:用低温色谱法解决硼烷的分解问题,使硼烷中氢的分析成为可能。该法又能消除硼烷和四硼烷(B4H10)对氧、氮和甲烷峰测定的干扰。此方法的建立使硼烷的标准制定成为可能。
石油/化工
2017/11/23
高纯绷烷中氢的低温气相色谱分析
高纯硼烷在半导体工艺中是重要的掺杂剂, 它的纯度很大程度决定了半导体器件的质量。高 纯硼烷的杂质分析一直是电子气的“老大难”。根 据半导体工艺的要求,硼烷中的有害杂质主要是 指氧、水、一氧化碳、二氧化碳和甲烷等,考虑 到提纯方法和制造过程中系统泄漏而造成大气环 境中 氧 和 水 对 硼 烷 的 污 染(氧 占 ,!S,水 占 !O.S T ,S)。
石油/化工
2017/11/23
高纯绷烷中氧的低温气相色谱分析
只要整个硼烷制造工艺稳定, 对氢、甲烷、氧和水是必须要分析的,其中甲烷 和氢是工艺反应过程中很容易产生的;而氧和水 在工艺反应过程中不可能产生,除非系统泄露 (哪怕很少系统微漏),因泄漏而造成空气中的氧 和水与硼烷反应,则产生氢。
石油/化工
2017/11/23
高纯硅烷中痕量CO、CO2、H2O转化色谱分析
本文叙述高纯SiH4 中痕量杂质的转化色谱分析条件、装置及流程。通过弱极性有机担体柱有效地将PPM硅烷中级杂质与主组份分离。分离后的主组份经氢气氛下高温还原和电石转化生成烃类, 送高FID灵敏检测, 当进样量为1毫升, 记录仪为1毫伏(250毫米)时, 本试验所得灵敏度,CO.0.15vpm/min 。CH4 0.08vpm/, ,(样品直接送FDI检测灵敏度)。CO2.0.5vpm/min ,H2O 0.3vpm/min 同时,确定了较满意的分析操作参数, 提出了相应的分析流程。
石油/化工
2011/01/11