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2013-08-01 14:40
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分享：资料摘要：
美国AST椭偏仪
型号： SE200BM/SE300BM/SE450BM/SE500BM
产地：
品牌： Angstrom Sun
¥ 50万 - 80万
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四探针/电阻率/方块电阻测试
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Angtrom Sun Tech. Introduction to Ellipsometry NK Database
280系列：最大8英寸晶圆，或测试平整表面样品，根据应用不同有PI,PCI,SI,TSI,TCI,DI,HCI等不同型号，其中SI为最普及型（大概占280系列销量的95%以上）； 120系列：测试大尺寸棒状或块状样品； 1100系列：测量最大到2130mm X 2400mm，平板行业专用； 680系列：III IV族化合物专用； M4PP 3093系列：采用液体金属汞替代传统金属探针的四探针设备； 233/333系列：针对最大8寸或12寸的全自动型设备；
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