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MTI 硅片几何参数（厚度，TTV，Bow，Warp）

品牌： MTI
产地： 美国
型号： MTI 300i/300SA
样本： 下载
报价： ¥10万 - 30万
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产品介绍

 

仪器简介：
美国MTI公司为半导体行业硅片几何参数测量技术-电容探头领域的佼佼者，与昔日的ADE齐名：为世界半导体业硅片几何参数测量的标准测试设备；为纳斯达克上市企业。

主要参数：

1. Diameter: 150mm,200mm,300mm

2. Material: All semiconducting,and semi-insulating matrrials

3.Surfaces: As-Cut, Lapped, Etched,Polished,Patterned; Bare wafer/Quartz Base,Tape

4.Thickness: (ASTM F533),Range-+/-500um;Accracy-+/-0.25um; Repeatability-0.050um

5.TTV: (ASTM F533) Range-+/-500um; Accuracy-+/-0.050um; Repeatablity-0.050um

6.Bow:(ASTM F1390) Range-+/-250um; Accuracy-+/-2.0um; Repeatabiligy-0.75um

7.Flatness(Global)(ASTM F1530) Rang:8mm; Accuracy-+/-0.05um; Repeatbility-0.030um

8.Flatness(Site)(ASTM F1530) Rang:8mm; Accuracy: +/-0.05um; Repeatbiligy:0.030um

设备：



Proforma 300SA：半自动大12寸晶圆几何参数测量仪；



Proforma 200SA：半自动型大8寸晶圆几何参数测试仪；

测试数据/结果例子：


23-Sep-2013              Wafer Summary Report        Page:1.00                        
                                                     
Operator:  Administrator        Lot Number:DK Wafer 200mm      Passed:4                        
Measurement Date:09/23/2013        Recipe: 200mm,33,m,1notch,1-29-13 1 run    Failed:0                        
Measurement Time:17:51:58                    Yield:100.0%                      
                                                     
                                                     
WaferWafer CenterAvgMinMax  3PTLSQ3PTLSQ              MaxMaxMaxMaxMaxMaxMaxMax% Sites
NumberIDThicknessThicknessThicknessThicknessTTVBowBowWarpWarpSoriGBIRGF3RGFLRGBIDGF3DGFLDSBIRSF3RSFLRSFQRSBIDSF3DSFLDSFQDPassed
   (uM)(uM)(uM)(uM)(uM)(uM)(uM)(uM)(uM)(uM)(uM)(uM)(uM)(uM)(uM)(uM)(uM)(uM)(uM)(uM)(uM)(uM)(uM)(uM)(uM)
 Low Limit                                                  
 High Limit                                                  
1.00shiny side729.56729.15728.83729.650.82-0.20-2.2118.3217.7417.720.820.760.750.820.630.480.290.300.300.130.210.200.200.07100.00
2.00dull side729.60729.14728.77729.730.963.855.5917.3417.3217.560.960.770.770.960.640.540.320.340.340.190.260.250.250.13100.00
3.00shiny side729.52729.10728.77729.610.840.33-1.5516.7517.3017.270.840.750.740.840.610.480.340.330.330.130.190.190.190.09100.00
4.00dull side729.54729.10728.76729.680.923.295.3417.2117.2917.530.920.790.760.920.610.530.290.270.280.180.270.260.260.10100.00
                                                     
 Minimum729.52729.10728.76729.610.82-0.20-2.2116.7517.2917.270.820.750.740.820.610.480.290.270.280.130.190.190.190.07100.00
 Maximum729.60729.15728.83729.730.963.855.5918.3217.7417.720.960.790.770.960.640.540.340.340.340.190.270.260.260.13100.00
 Average729.56729.12728.78729.670.891.821.7917.4117.4117.520.890.770.760.890.620.510.310.310.310.160.230.230.230.10100.00
 Std Dev0.0300.0220.0280.0440.0561.7723.6810.5730.1900.1620.0560.0150.0120.0560.0140.0250.0220.0290.0250.0250.0320.0290.0300.0210.000
                                                     



200SA/300SA操作界面，3D图形貌显示

技术参数：

1. Diameter: 150mm,200mm,300mm

2. Material: All semiconducting,and semi-insulating matrrials

3.Surfaces: As-Cut, Lapped, Etched,Polished,Patterned; Bare wafer/Quartz Base,Tape

4.Thickness: (ASTM F533),Range-+/-500um;Accracy-+/-0.25um; Repeatability-0.050um

5.TTV: (ASTM F533) Range-+/-500um; Accuracy-+/-0.050um; Repeatablity-0.050um

6.Bow:(ASTM F1390) Range-+/-250um; Accuracy-+/-2.0um; Repeatabiligy-0.75um

7.Flatness(Global)(ASTM F1530) Rang:8mm; Accuracy-+/-0.05um; Repeatbility-0.030um

8.Flatness(Site)(ASTM F1530) Rang:8mm; Accuracy: +/-0.05um; Repeatbiligy:0.030um

主要特点：

1. Diameter: 150mm,200mm,300mm

2. Material: All semiconducting,and semi-insulating matrrials

3.Surfaces: As-Cut, Lapped, Etched,Polished,Patterned; Bare wafer/Quartz Base,Tape

4.Thickness: (ASTM F533),Range-+/-500um;Accracy-+/-0.25um; Repeatability-0.050um

5.TTV: (ASTM F533) Range-+/-500um; Accuracy-+/-0.050um; Repeatablity-0.050um

6.Bow:(ASTM F1390) Range-+/-250um; Accuracy-+/-2.0um; Repeatabiligy-0.75um

7.Flatness(Global)(ASTM F1530) Rang:8mm; Accuracy-+/-0.05um; Repeatbility-0.030um

8.Flatness(Site)(ASTM F1530) Rang:8mm; Accuracy: +/-0.05um; Repeatbiligy:0.030um


售后服务
保修期： 根据合约
是否可延长保修期： 是
现场技术咨询： 无
免费培训： 根据合约
免费仪器保养： 根据合约
保内维修承诺： 根据合约
报修承诺： 根据合约
典型用户

用户单位

采购时间

采购数量

福建计量院

2017/10/18

1

锦州质检所

2015/06/16

1

无锡质检所

2015/08/18

1

中国计量院

2018/08/08

2

国家质检中心

2012/08/05

1

超硅

2011/11/09

1

敦南科技

2009/07/09

1

士兰微

2010/09/01

1

AXT（北京）

2009/07/09

1

浩天泰成

2011/06/06

1

华润微电子

2010/01/05

2

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MTI其他半导体检测仪MTI 300i/300SA的工作原理介绍

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型号：280SI

¥ 10万 - 50万

工商信息

企业名称

赛伦科技(北京)有限责任公司

企业信息已认证

企业类型

有限责任公司(外商合资)

信用代码

110000410283047

成立日期

2006-03-06

注册资本

美元8万元

经营范围

许可经营项目:无一般经营项目:电子技术、新能源技术的研发及技术咨询;销售自行研发的产品;批发电子设备、半导体设备、集成电路加工设备、集成电路检测设备及以上产品的零备件、科学仪器及仪表、家用电器,提供上述产品的技术服务.(未取得行政许可的项目除外)(知识产权出资0.8万美元。)理富，才清华

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公司地址： 上海市黄浦区陆家浜路1378号万事利大厦601室 联系人： 吴13817915874 邮编： 200011 联系电话： 400-860-5168转2024

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