高麦电子工业用砷烷、磷烷解决方案

电子特气属于半导体八大核心材料之一，全球半导体行业协会（SEMI）数据显示，电子特气在半导体晶圆制造材料价值占比13.50%，电子特气是继硅片之后的第二大半导体材料。

磷烷和砷烷为高纯特气家族中技术门槛和开发难度最高的两种气体，一直是半导体、 LED、光伏、航天和国防事业的关键原材料，长期被海外技术封锁。其中砷烷因其易燃、易爆、剧毒的特性，从合成到提纯各种环节难度较大，为电子特气中“皇冠上的明珠”。

磷烷是半导体器件制造中的重要N型掺杂源，其可用于多晶硅化学气相沉淀、外延GaP材料、离子注入工艺、MOCVD工艺、磷硅玻璃钝化膜制备等工艺中。砷烷主要用于外延硅的N型掺杂、硅中的N型扩散、离子注入、生长砷化镓和磷砷化镓。由于二者分子结构相似，工艺技术同源、应用场景相似，迄今尚无替代材料。

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高麦电子工业用砷化氢、磷化氢解决方案

电子工业用砷烷、磷烷中除常规杂质外，还需对砷烷中的磷烷、磷烷中的砷烷进行检测，且砷烷、磷烷均具有易燃、易爆、剧毒的特性，对于电子级砷烷、磷烷纯度分析，高麦提供全套解决方案，使用GM 816、GM 826系列气相色谱仪搭配放电氦离子化检测器、多阀多柱组合形式对砷烷、磷烷中O₂+Ar、N₂、CH₄、CO、CO₂、AsH3/PH3等杂质分析，检出限＜10ppb。

图 1：GOW-MAC 放电氦离子化检测器

图 2：GM 826系列气相色谱仪

图 3：氦标气中砷烷、磷烷分析

高麦不仅可提供气相色谱仪，还包括水分析仪、氧分析仪、傅里叶红外光谱仪、色谱配件、预处理工程、防爆小屋等一系列产品及服务，关注高麦微信公众号，带您解锁更多分析方案和服务。