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当前位置： 高麦克 > 最新动态 > 高麦“双M”体系，推动全球电子特气可持续发展

高麦“双M”体系，推动全球电子特气可持续发展

高麦克

2022/01/10 12:57

阅读：442

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电子特气国产化势在必行
 
2020年，我国电子特气市场规模约173.6亿元，每年保持10%以上的复合增长率，国内90%的电子特气用于半导体行业。
在企业竞争格局中，目前，国外电子特气企业牢牢握住了国际及中国市场，其中，外企占据了85%的市场份额，国内厂家仅占15%，国内自给率仍有较大的提升空间。
当前，新冠肺炎疫情放大了国内电子特气供需矛盾。疫情导致国外电子特气制造、物流、运输等等环节受限，造成电子特气在供给端减少。而国内疫情控制效果明显，各个晶圆厂已经进入全面复工复产期，需求端全面复苏。国内需求增加，国外供给减少，电子特气迎来了替代窗口期。
随着中美贸易摩擦、国家政策的支持、国内市场需求等多方面的影响，国内电子特气的发展迎来了机遇。
电子特气面临的气体纯度壁垒
 

在纯度方面，普通工业气体要求在99.99%左右，但是在先进制程的集成电路制造过程中，电子特气纯度要求在6N（99.9999%）以上。
电子特气的主要生产流程包括气体合成，气体纯化，气体混配和气瓶处理。每一步都需要检测电子特气中的杂质含量，确保整个过程能够得到纯度达标的电子特气。 
高麦电子特气解决方案——“双M体系”
 
电子特气大部分气体均存在腐蚀性，并且杂质含类多，其含量检测要求需达到在ppb级别。对此，高麦利用搭载氦离子化检测器的气相色谱仪和傅里叶红外的完美配合，已成为目前“电子特气纯度分析”中更为领先的解决方案。
应用实例：
 
1）搭载GOW-MAC DID检测器的气相色谱仪谱图



三氟化氮样品气



硒化氢样品气
2）MIDAC FTIR谱图
 
图中，我们实时监测的组分包括：C2F6、C3F8、C4F8、CF4、CHF3、COF2、SF6、SiF4、SiH4。



HF谱图
 

 

 

高麦 成立于1935年,

在中国、美国、日本、韩国等多个国家设有

技术、研发中心，生产、组装工厂、客户运营中心，

逐步形成以北京为总部，

在武汉、杭州，日照，台湾等地分别设立

技术研发和客户运营中心的生态网络，

全方位的为中国乃至全球客户

   打造专属的气体行业解决方案。

 

 
 
The Cornerstone of Technology,
Since 1935.

 

                     
                                 关注高麦，洞见真知。
 
 



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