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核心参数
产地类别: 进口
靶材材质: Ag,Au,Au / Pd,Cr,Cu Fe,Ir,Mo,Nb,Ni,Pd,Pt,Pt / Pd,Ta
靶材尺寸: 57mmx 0.1mm
控制方式: 自动
样品仓尺寸: 直径150mm,高度165 - 250mm
样品台尺寸: 样品台直径32mm,可装载多达6个小样品座。
溅射气体: 氩气
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208HR高分辨离子溅射仪为场发射扫描电镜应用中遇到的各种样品喷镀难题提供真正的解决方案。
场发射扫描电镜观察时,样品需镀上极其薄、无细晶且均匀的膜层以消除电荷积累,并提高低密度材料的对比度。为了将细晶的尺寸减小到最小程度,208HR提供了一系列的镀膜材料,并对膜厚和溅射条件提供无可媲美的控制。
208HR分子涡轮泵高真空系统提供宽范围的操作压力,可以对膜层的均匀性和一致性进行精确控制,并最大程度减小充电效应。高/低样品室的结构设计使靶材和样品之间的距离调节变得极为方便。
MTM-20高分辨膜厚控制仪分辨率小于0.1nm,其作用是对所镀薄膜的厚度进行精确控制,它尤其适合场发射电镜对膜厚(0.5-3nm)的要求。
场发射扫描电镜镀膜推荐的靶材是:
Pt/Pd:非导电样品镀膜的通用镀膜材料
Cr:优良的半导体样品的镀膜材料
Ir:优良的真正无细晶的镀膜材料
208HR系统为得到最佳高分辨镀膜效果提供了多种配置选择,可配备标准的旋片泵或提供干净真空的无油涡旋式真空泵,标配的208HR包含Cr 和 Pt/Pd靶。
一、主要特性
· 可选择多种镀膜材料
· 精确的膜厚控制
· 样品台控制灵活:可对样品台进行独立的旋转、行星式转动、倾斜控制,保证形貌差异大的样品也能得到最佳的镀膜效果。
· 多个样品台:提供4个样品台,每个样品台直径32mm,可装载多达6个小样品座。
· 样品室几何可变: 样品室几何用于调节镀膜的速率(1.0nm/s ~ 0.002nm/s)
· 宽范围的操作压力:独立的功率和压力调节,氩气的压力大小范围为0.2 - 0.005 mbar。
· 紧凑、现代的桌上型设计
· 操作容易
二、技术参数
溅射系统
镀膜头
低电压平面磁控管
靶材更换快速
环绕暗区护罩
靶材调节遮挡
靶材
Cr, Pt/Pd (标配) Ta, Au, Au/Pd, Pt, W, Ir , Ti(选配)
镀膜控制
微处理器控制
安全互锁
电流控制与真空度无关
数字化可选电流(20,40,60 和 80mA)
样品室大小
直径150mm 高度165 - 250mm
样品台
非重复的旋转、行星式转动,并可手动倾斜0-90° 转动速度可调 晶体头 4个样品台
模拟计量
真空 Atm - .001mb 电流 0-100mA
控制方法
自动气体净化和泄气功能
自动处理排序
带有“暂停”功能的数字计时器
自动放气
膜厚控制
MTM-20高分辨膜厚控制仪
真空系统
结构
分子涡轮牵引泵和旋叶泵组合,
代替旋叶泵的无油涡旋式真空泵(选配)
抽真空速度
0.1mb 下300 l/min
抽真空时间
1 mbar 至 1 x 10-3mbar
极限真空
1 x 10-5mbar
桌上型系统
旋叶泵置于抗震台上,全金属真空耦合系统
膜厚测控仪
MTM-20
基于微处理器,4位数字显示,复位按钮, 6MHz晶体(具有寿命检查功能),5次/s的更新速率
膜厚范围
0.0 - 999.9nm
分辨率
优于 0.1nm
密度范围
0.50 - 30.00gm/cm3
修正系数范围
0.25 - 8.00
镀膜终止范围
膜厚0 - 999.9nm
系统要求
电气
100-120 或 200-240VAC, 50/60Hz
功率
550VA(最大)
氩气
最小纯度99.995% 调节压力 5 - 6 psi (0.4 bar) 6.0mm ID连接软管
企业名称
广州竞赢化工科技有限公司
企业信息已认证
企业类型
有限责任公司(自然人投资或控股)
信用代码
91440101795540632T
成立日期
2006-12-11
注册资本
壹佰零捌万元整
经营范围
科技推广和应用服务业(具体经营项目请登录广州市商事主体信息公示平台查询。依法须经批准的项目,经相关部门批准后方可开展经营活动.)
广州竞赢有限公司
公司地址
广州市天河区燕岭路25号1009室
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公司名称: 广州竞赢有限公司
公司地址: 广州市天河区燕岭路25号1009室 联系人: 陈生 邮编: 510630 联系电话: 400-860-5168转1729
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