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离子溅射仪 sputter coater 108AUTO

品牌: Ted Pella
产地: 美国
型号: 108AUTO
样本: 下载
报价: ¥5万 - 10万

核心参数

产地类别: 进口

靶材材质: Au,Au/Pd,,Pt,,Pt/Pd(Au靶为标配)

靶材尺寸: 57*0.1mm

控制方式: 自动/手动

样品仓尺寸: 直径120mmx 120mm 高(4.75 x 4.75")

样品台尺寸: 可以装载12个SEM样品座,高度可调范围为50mm

溅射气体: 空气

产品介绍

  108Auto是一款结构紧凑的离子溅射仪,特别适用于扫描电镜成像中非导电样品高质量镀膜。108auto离子溅射仪的样品室直径为120 mm,样品台的高度可以任意调节,同时还带有高效的直流磁控溅射头和独立的真空控制系统,能充分满足客户的多种需求。

主要特性

  • 自动的换气与泄气功能,可以得到一致的膜厚,和zui佳的导电喷镀效果。

  • 通过高效低压直流磁控头进行冷态精细的喷镀过程,避免样品表面受损。

  • 操作容易快捷,可全自动或手动进行喷镀操作,控制的参数包括自动放气以及氩气换气控制。

  • 在自动模式下,可通过两种方式进行控制镀膜过程。可通过数字显示器控制得到可重现的喷镀效果,

  • 通过使用MTM-20高分辨膜厚控制仪(选件)在达到设定膜厚时停止喷镀过程。

  • 可用MTM-20高分辨膜厚控制仪(选件)手动停止喷镀过程。

  • 数字化的喷镀电流控制不受样品室内氩气压力影响,可得到一致的镀膜速率和zui佳的镀膜效果。

  • 可使用多种金属靶材:Au,Au/Pd,,Pt,,Pt/Pd(Au靶为标配),靶材更换快速方便。

 

技术参数
样品室大小 直径120mmx 120mm 高(4.75 x 4.75")
靶材 Au 靶为标配,Au:Pd, Pt, Pt:Pd (选件);大小:直径57mmx 0.1mm厚
样品台 可以装载12个SEM样品座,高度可调范围为50mm
溅射控制 微处理器控制,安全互锁,可调,zui大电流40mA,程序化数字控制
溅射头 低电压平面磁控管,靶材更换快速,环绕暗区护罩
模拟计量 真空:Atm - 0.001mbar
厚度监控
(选件)
使用MTM-20高分辨厚度控制仪(选件)自动终止溅射过程,或使用MTM-10高分辨厚度监控仪(选件)手动终止溅射过程
控制方法 自动气体换气和泄气功能,自动处理排序,带有“暂停”控制的数字定时器(0-300s),自动放气
桌上系统 真空泵可置于抗震台上,全金属集成耦合系统

 

售后服务
保修期: 1年
是否可延长保修期:
现场技术咨询:
免费培训:
免费仪器保养:
保内维修承诺: 仪器安装验收后1年内,免费保修(免费质保期期限起计方式:产品自验收合格之日起计算
报修承诺: 报修后需预约上门时间
典型用户

用户单位

采购时间

采购数量

烟台万润集团

2013/01/07

1

吉林大学

2012/10/18

1

仲恺农学院

2012/06/13

1

电子五所

2013/04/11

2

复旦大学

2011/11/19

1

东北石油大学

2013/01/14

1

贵州大学

2011/09/23

1

南昌大学

2011/11/10

1

哈尔滨工业大学

2012/10/03

1

河南师范大学

2013/02/12

1

华南理工大学

2013/03/04

1

中山大学

2012/12/06

1

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生物产业

2017/08/03

工商信息

企业名称

广州竞赢化工科技有限公司

企业信息已认证

企业类型

有限责任公司(自然人投资或控股)

信用代码

91440101795540632T

成立日期

2006-12-11

注册资本

壹佰零捌万元整

经营范围

科技推广和应用服务业(具体经营项目请登录广州市商事主体信息公示平台查询。依法须经批准的项目,经相关部门批准后方可开展经营活动.)

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广州竞赢化工科技有限公司为您提供Ted Pella离子溅射仪 sputter coater 108AUTO,Ted Pella108AUTO产地为美国,属于进口离子溅射仪,除了离子溅射仪 sputter coater 108AUTO的参数、价格、型号、原理等信息外,还可为您提供更多离子溅射仪,广州竞赢客服电话400-860-5168转1729,售前、售后均可联系。

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