滨州创元设备机械制造有限公司全权代理的日本著名高端研究设备生产厂家富士电波公司的新型SPS-211Lx烧结炉近期经过艰苦谈判终于顺利签定正式外貌合同.预计4个月后该装置将落户盐城工学院材料系.参见最新该公司Catalogue.

    2013年2月15日滨州创元公司王道元董事长拜访日本东伸工业株式会社.受到后藤课长和朴云泰先生的热情接待.该公司1964年成立,位于东京,是各种高温高压环境中材料试验机的专业生产厂家,在国际上享有盛名. 主要试验机有 模拟原子力发电厂和火力发电厂工况的腐蚀断裂和高温磨损试验机     日本目前有54基原子核发电站,实际上有约2/3都是处于检修中.由此可见原子力发电厂工况下材料特性的重要性.中国的原子核发电站也是如此. 中国现在80-90%是火力发电,发电规模小,效率低,一般使用温度是400-500多度,急需更新为更高温度下的发电.比如600度的超临界火力发电/650度的超超临界火力发电/700度的先端临界火力发电等. 其中代表产品是高温高压/超临界水/蒸气循环/Cl溶液装置和 长周期高温疲劳实验机等. 燃料电池用材料试验机      为了实用化,氢充气罐用材必须能够承受100MPa同时还要能够是储氢合金.况且和氢气有关输送管道上的SUS阀门会产生80度左右的高温磨损,这个就是所谓的燃料电池中的高温磨损,日本九州大学机械工学松岗先生可以说是日本研究燃料电池的第一人,在九州大学,有3栋大楼专门用于储存氢气.目前正在进行金属,橡胶等所有和氢有关材料研究. 航空发动机用材试验机 主要是关于turbine blade的研究.     现在turbine blade通常工作温度是1000度,为了提高性能,需要更高温度.日本已经达到1200-1300度.在此高温下的蠕变试验的很重要.此时一般的蠕变试验实验用金属夹具已经不能用了.该公司采用CCD图象方法解决了这个问题.最高可达到2500度.是和日本著名材料研究NIMS的原田先生共同研发而成.值得借鉴.     AEAT-A型低应变速率型应力腐蚀开裂实验装置是其他 代表装置之一. 4.石油行业用试验机     挖掘石油时候会出现H2S,它的腐蚀性很强.采油管子最前端 是切削头,其后面的管子要承受高温高压腐蚀.所以需要做高温高压腐蚀环境下的试验研究.如该公司的高温高压水用照合电极是其代表性产品,据说目前该公司是世界上唯一可以提供该产品的厂家. 希望该厂家的各种试验机能够为广大中国客户喜欢.

    创元公司全权代理的日本富士电波公司全自动相变仪formastor-FII于2013年2月1日在洛阳中信重工铸锻所安装调试成功。 　　这是继宝钢、北京钢铁研究总院，包钢、攀钢等老用户之外的又一个重量级新客户，这也是富士电波公司继20多年前入主上海重工之后首次进入中国重工行业.充分说明中国客户对富士电波公司产品的喜爱和认可。富士电波的formastor-F自从1963年在日本问世以来，已经在世界各地拥有300多家用户。已经成为钢铁行业测定相变相变点的标准试验手段。相信它的导入将为中信重工自主创新更上一个台阶做出应有的贡献。

 日本TKS集团公司原名东京衡机制作所,是专门提供各种材料研究高端设备的高科技公司.该公司历史悠久,在日本和岛津公司齐名.尤其在特殊研究设备方面别具特色.如金属/陶瓷/塑料平面弯曲疲劳试验机PBF系列.自从90年代独家开发出来以后,在日本以及世界先进国家已经成为薄板业界不可或缺的研究和检验设备.当材料薄到一定程度时候其平面弯曲/扭转性能往往会和一般国际标准厚度尺寸下的材料弯曲/扭转性能不一样.而随着汽车等轻量化的发展,平面弯曲/扭转性能变得越来越重要. 平面弯曲疲劳性能指标在日本业已成为钢铁厂出厂检验的必备检验指标之一.所以该装置除了对研究材料平面弯曲/扭转疲劳性能具有重要理论价值以外尤其更具有重要实用价值.相信它将成为中国薄板材料界自主创新必备研发和检验设备之一. 该司另外一种特殊设备是原子核发电站环境(PWR)下（高温高压纯水）材料断裂性能评价装置.日本日立和东芝，中部电力等都在使用该类设备开展研究以提高发电站安全度.中国到2050年，预计原子核发电站数量将从现在的十几座发展到二百五十座左右。随着核安全问题变得越来越重要,该设备一定会为中国提高核电站安全度作出贡献. 该公司第3个特殊设备是核发电站机组中机械密封环耐磨性能评价装置.众所周知,原子核发电站中使用的机械密封环处于纯水等特殊环境,由于磨损需要经常更换.造成巨大经济损失.随着我国发电站的数量大幅增加,日本TKS公司该方面的特殊设备对中国该关键耗材的研发和生产有重要价值. 此外该公司还生产以下常规试验机,精度高,体积小,物美价廉是其主要特征. 高精度高温蠕变试验机 高温电气炉用自动温度调节器 油圧伺服式高速冲击试验机 小野式回转疲劳试验机 钢轨弯曲疲劳试验机 油圧伺服式扭转疲劳试验机 数字伺服控制器  精密模式 AC伺服马达式小型扭转疲劳试验机 交流动力计（TAC系列）用于测量发动机等马力大小. 我司近期不仅仅成为该公司独家商务代理,而且也全权负其售后服务.希望今后能够为 中国材料界用户提供国际水准优质服务. TKS公司主要产品图片如下 No.1 常温平面弯曲疲劳试验机 PBF-60                                                             No.2高温平面弯曲疲劳试验机PTF-160 No.3 高温高圧纯水中材料断裂性能评价装置 .No.4高温高圧水中用内部载荷传感器单元   No.5 原子核发电站机械密封环耐磨性能评价装置 上图为整机全貌  下图为密封环磨损试验关键部分 No.6  高温蠕变试验机 No.7 高温电炉用自动温度调节器　CF-1000D   No.8 油圧伺服式高速冲击试验机 No.9 小野式回转疲劳试验机 ORB-10B No.10钢轨弯曲疲劳试验机 No.11油圧伺服式扭转疲劳试验机 No.12 数字伺服控制器  精密模式（FMC-1000） No.13  AC伺服马达式小型扭转疲劳试验机     No.14 交流动力计（TAC系列） 

滨州创元设备机械制造有限公司全权代理的日本著名高端研究设备生产厂家富士电波公司的新型SPS-211Lx烧结炉近期在盐城工学院投标中标.已经签定技术协议.正在签定外贸易合同.    20-400KN双电源单体化动态金属热模拟装置静态全自动相变仪 formastor-FII/薄板全自动相变仪 formastor-Ft微波加热金属纳米粉末装置高频真空感应融化炉高频感应熔化炉高温摩擦磨损试验装置滚动高温摩擦试验装置实物透平机叶片热应力疲劳试验研究装置薄板热处理模拟装置,线材热处理模拟装置全自动精密热循环模拟装置快速加热/冷却热循环模拟装置表面融化/快速焊接装置高温真空滚焊装置扩散焊接装置磁悬浮熔化装置水平方向区域熔化精炼装置垂直方向区域熔化精炼装置半融化型短纤维增强金属炉超细粉装置双辊型非晶金属制做装置单辊型非晶金属制做装置以上业务主要由该富士电波公司第2事业部负责.随着公司业务发展,该公司于2011年收购了日本最早开始SPS烧结装置研究生产的住友SPS系统公司.弥补了富士电波公司在陶瓷领域高端研究设备的不足.受柳桥社长的委托,创元公司除了代理上述富士电波公司第2事业部产品以外,也自然成为该公司SPS 事业部的中国代理.经过1年多努力,终于成功中标盐城工学院材料系.新型SPS-211Lx烧结炉主要是针对科研院校而开发的研究型烧结装置.取名为Dr.Sinter.Lab,Jr Spark Plasma Sintering System.从其命名即可知道它特别适合作为高校研究所的实验设备.它性能高而稳定,再现性好,体积小,耗电少,重量轻,价格合理,价格已经接近中国国产同类产品价格.一经推出深受国内外同行青睐.相信该装置将风靡中国.将成为中国新材料研发,尤其是纳米材料烧结,梯度材料烧结,非真空烧结,各种复合材料烧结等领域不可缺少的研究设备.其主要构成和技术参数如下 设备主要构成 烧结主机烧结用DC脉冲电源真空系统烧结操作和控制系统 设备主要技术指标 最高温度    2500℃升温速度    1-500℃/分,但是对不同温度区间和不同烧结体尺寸,数值有所不同最大压力    20kN最大功率    28kVA此外,该公司还可以提供更大吨位的SPS设备,如50KN的SPS-511S, SPS-515S100KN的SPS-615,SPS-625200KN的SPS-3.20MK-Ⅳ250KN的SPS-725,SPS-825,SPS-925500KN的SPS-5.40MK-Ⅳ1MN的SPS-7.40MKⅣ1.5MN的SPS-8.40MK VII3MN的SPS-9.40MK-VIII5MN的SPS-10.40MK-VIII最近还可以提供优生产型的Sinter Expert SPS 30300T.已经成功用于生产.详细请参阅附件1. 最新SPS-211Lx彩页           2  SPS综合彩页

    滨州创元设备机械制造有限公司全权代理的日本著名高科技研究设备生产厂家R-DEC公司的新型反射高能电子衍射仪（绑定美国专用高级解析软件k400-FW）近期在西安的陕西师范大学投标中中标.近日将签定技术协议和外贸易合同.   该仪器主要用于实时监控MBE等制膜装置中成膜过程中结晶状态.对研制新材料具有极其重要价值.虽然该公司在世界范围内已经有三百多台业绩,但是在中国则鲜为人知.尤其是同时绑定美国专用高级解析软件k400-FW的导入方式在中国尚属首例.相信陕西师范大学使用这套绑定美国专用高级解析软件的新型RHEED将获得世界最高水准的RHEED像,相信它将帮助国家千人计划获得者刘生忠博士/教授在中国仍然得以使用世界一流设备继续从事世界最高水平的研究.预计这种绑定美国专用高级解析软件的新型RHEED将越来越受到中国用户的青睐.

 真空脱气处理   真空脱气处理是对真空腔体/零件等在真空中进行加热，减少实际 使用时的真空容器内 壁以及内部零件材料的气体放出，即使腔体达到良好环境的前处理。   真空脱气处理采用每秒3000升的涡轮分子泵，Qmass可精确控制残 留气体。脱气处理后进行高精密脱脂清洗处理。 另外，对磁耦合样品传输装置、驱动器、XY水平位移台等真空驱动装 置也实施真空脱气处理，提供良好真空环境。 对要求到达真空度E-9Pa～E-10Pa级的腔体，可减小启动烘烤温度值和 加热时间。   有效尺寸 750x750x750（mm）以下 烘烤温度 ≦450℃（溶解波纹管制品≦250℃） 加热时间 450℃-10小时 温度控制 程序式温度调节器 冷却方式 自然冷却 气体 Ar 到达真空度 加热处理中的真空度 10-7Pa 排气系统 5.0x10-5Pa

简单实用：简洁设计，操作简单 用户自定义：9种真空泵可选 高性能：从大气压到高真空排气 可扩展组件：提供丰富组件搭配 L 低型 H 高型   一次侧输入电源： 单相AC100V 电源线2m,底线付电源插头 阀门： 隔离阀(V-025SV-100) 配管： NW25接口波纹管 SUS304 排气管： NW25(16)-38聚氯乙烯管 序号 型号（生产商） 排气速度 到达压力   备注 A STP-301（EDWARDS） 300L/s 10-8Pa   排气口法兰 ICF152 冷却方式　空冷（付风扇） 付控制装置 B TG220F（大阪真空） 210 10-6   C PT150（岛津制作所） 190 10-8   D HiPace300/TC110（伯东株式会社） 260 5×10-8   E STP-ix455（EDWARDS） 300 10-8   序号 型号（生产商） 排气速度   备注 R1 RV8（EDWARDS） 141L/min   付除油雾器 (OME25S) R2 M2010SD（Alcatel-Lucent） 141   R3 M2015SD（Alcatel-Lucent） 208   S1 ISP-250C-SV（阿耐思特岩田株式会社） 250   序号 商品名 高型 低型 备注 无 无       P   ○ ― T 把手 ○ ― Q 真空计：冷阴极-皮拉尼复合真空计 ○ ○ (M-360CP) 显示器(M601GC) F 前置油阱 ○ ○ (FL-20K) K TMP固定板 ○ ― A 自动排气 ○ ○ X1 特别定做 分油器 ○ ○ ICF152×1,NW40×1 X2 特别定做 分油器 ○ ○ ICF152×1,ICF70×3,NW25×2 X3 特别定做 分油器 ○ ○ ICF152×2,ICF70×4 Z ※可根据具体要求设计定做

1.用于初级泵排气口和排气管的连接 2.连接法兰：NW16，25，40   型 号 A 连接法兰 B (mm) C (mm) D (mm) 重量 (kg) ARD-16-38 NW16 70 φ38 φ32 0.03 ARD-25-38 NW25 0.02 ARD-25-50 φ50 φ44 0.03 ARD-25-70 φ75 φ69 0.06 ARD-40-50 NW40 85 φ38 φ44 0.03 材质 聚氯乙烯

  1.适用于溅射枪安装，玻璃管的密封 2.超高真空对应，烘烤温度可至150℃   型 号 A 连接法兰 B 内径 (mm) C (mm) 重量 (kg) AQP-NW25-0.75 NW25 φ19.05 80 0.1 AQP-NW40-0.75 NW40 0.2 AQP-275-0.75 ICF70-FH 50 0.6 AQP-4-0.75 ICF114-FH 55 1.5 AQP-6-0.75 ICF152-FH 2.8 真空漏率 ≦1.33×10-11Pa/m3/sec（O型圈除外） 真空密封 O形圈（氟） 烘烤温度 ≦150℃

1.适合各种分子泵/真空计的连接安装     型 号 A连接法兰 B安装法兰 重量 (kg) AGM-275 ICF70-FH ICF-70FT 1.3 真空漏率 ≦1.33×10-11Pa/m3/sec（O形圈除外） 烘烤温度 ≦200℃

1.操纵器/加热机构等的真空保管 2.O形圈密封，安装/拆卸方便 3.φ1/4英寸连接阀，便于真空排气   型 号 A 连接法兰 B 内径 (mm) C (mm) 重量 (kg) ASP-275 ICF70 39.4 200 300 400 500 600 700 0.6 ASP-4 ICF114 72.1 1.3 ASP-6 ICF152 110.1 2.0 ASP-8 ICF203 159.6 3.6 ASP-10 ICF253 210.7 5.0 真空漏率 ≦1.33×10-11Pa/m3/sec（O形圈除外） 真空密封 O形圈（氟） ※ C=200时

1.可增设与腔体和真空窗之间     型 号 A连接法兰 B (mm) C 内径 (mm) 重量 (kg) ASH-275 ICF70-FH 12.7 φ28 0.4 ASH-4 ICF114-FH 10 φ60 0.8 ASH-6 ICF152-FH φ98 1.1 ASH-8 ICF203-FH φ148 1.6 烘烤温度 ≦200℃ 荧光材 绿色发光体 ※ 须与真空窗配套使用

1.用于RHEED反射 2.特殊技术，涂布均匀 3.荧光膜的涂布范围可根据要求制作     型　式 A (mm) B (mm) 重量 (kg) AS-275 φ30 5 0.01 AS-4 φ62 0.03 AS-6 φ100 0.10 AS-8 φ150 0.20 烘烤温度 ≦200℃ 窗口材质 铅玻璃 荧光材 绿色发光体

1.适用于RHEED 2.反射屏污染防止，提高RHEED利用率     型 号 A连接法兰 B 内径 (mm) C (mm) D (mm) E (mm) F (mm) G (mm) 适用管内径 开闭角度 重量 (kg) ASS-6 ICF152-FH 98 30 191.5 86 65.8 25 φ110 90° 2.7 ASS-8 ICF203-FH 148 198.5 119 117.5 52.5 φ159 3.4 真空漏率 ≦1.33×10-11Pa/m3/sec 驱动方式 磁耦合动力 烘烤温度 ≦200℃ 开闭角度 ≦90° 荧光材 绿色发光体

1.真空窗污染防止 2.遮板的开闭位置可自由调整   型 号 A连接法兰 B 内径 (mm) C (mm) D (mm) E (mm) F (mm) G (mm) 适用管内径 (mm) 开闭角度 重量 (kg) AVS-275 ICF70-FH φ39 25 144 26.5 19 13 φ37 90° 0.9 AVS-4 ICF114-FH φ65 18 171.5 53.6 45.5 23 φ63 1.3 AVS-6 ICF152-FH φ102 20 191.5 93 65 25 φ100 1.8 AVS-8 ICF203-FH φ155 22 211.5 125 116 52 φ147 2.6 真空漏率 ≦1.33×10-11Pa/m3/sec 驱动方式 磁耦合动力 烘烤温度 ≦200℃ 开闭角度 ≦90° ※ 须与真空窗配套使用

1.低热辐射LED使用 2.角度调整范围：±5°   型 号 A连接法兰 B (mm) 角度 重量 (kg) ALS-275 ICF70 120 ±5° 0.3 ALS-4 ICF114 150 0.5 光源 LED 电源 7号电池（三个）

1.真空窗玻璃部的保护/遮光 2.烘烤时真空窗的保温   型 号 A连接法兰 B (mm) 重量 (kg) AVPC-133 ICF34 15 0.01 AVPC-275 ICF70 20 0.03 AVPC-4 ICF114 25 0.08 AVPC-6 ICF152 30 0.13 AVPC-8 ICF203 32 0.20 烘烤温度 ≦200℃ 材质 SUS304

1.观察窗的辐射防止     型 号 A连接法兰 B 内径(mm) C (mm) D (mm) E (mm) 重量 (kg) AVLC-133 ICF34 φ17 25 18 φ42.5 0.05 AVLC-275 ICF70 φ42 21 14 φ78 0.10 AVLC-4 ICF114 φ87 31 24 φ119.5 0.20 AVLC-6 ICF152 φ122 35 28 φ159.5 0.40 AVLC-8 ICF203 φ182 φ212 0.70 衰减能力 X射线管电压30KV以下 烘烤温度 ≦200℃

1.窗材：合成石英 2.窗材可根据需要更换 3.激光透射用   型 号 A连接法兰 B 内径(mm) C (mm) 重量 (kg) AOV-275 ICF70-FT φ30 15.7 0.3 AOV-4 ICF114-FH φ63 21 1.0 AOV-6 ICF152-FH φ98 1.6 真空漏率 ≦1.33×10-11Pa/m3/sec（O型圈除外） 真空密封 O形圈（氟） 烘烤温度 ≦150℃ 窗口材质 合成石英

1.O形圈密封 2.标准观察窗附属     型 号 A连接法兰 B 内径(mm) C 内径(mm) D (mm) E (mm) F (mm) 开闭角度 重量 (kg) AAD-275 ICF70-FT φ38 φ39 25.6 36 98 109° 0.6 AAD-4 ICF114-FH φ56 φ56 34 48 141 110° 1.8 AAD-6 ICF152-FH φ96 φ96 42 58 192 3.3 AAD-8 ICF203-FH φ115 φ146 60 243 5.9 AAD-10 ICF253-FH φ194 45 63 301 115° 10.9 真空漏率 ≦1.33×10-11Pa/m3/sec（O型圈除外） 真空密封 O形圈（氟） 烘烤温度 ≦150℃ 窗口材质 高硼硅玻璃

适用于各种真空设备，特别是超高真空中的样品的安装以及位置控制，可自由伸缩及摆动。 1.超高真空对应 2.磁耦合方式采用 3.两轴旋转直进型 4.单波纹管型 5.角度动作范围：±22° 6.付把手制动钮 7.付把手放置用制动钮 8.360°连续旋转/直进/倾斜 真空漏率 ≤1.33×10-11Pa/m3/sec 真空密封 焊接波纹管 驱动方式 磁耦合动力 烘烤温度 ≤200℃ 直进能力 20N 旋转力矩 0.2Nm 型 号 Z轴移动距离(mm) A连接法兰 移动轴径(mm) 重量(kg) AMWS-275/150 150（用户指定） ICF70-FH φ6 (g6) φ3 (g6) 1.9  

适用于各种真空设备，特别是超高真空中的样品的安装以及位置控制，可自由伸缩及摆动。 1.超高真空对应 2.磁耦合方式采用 3.360°连续旋转/直进/倾斜 4.单波纹管型 5.角度动作范围：±22° 6.付把手制动钮 7.付把手放置用制动钮 真空漏率 ≦1.33×10-11Pa/m3/sec 真空密封 焊接波纹管 驱动方式 磁耦合动力 烘烤温度 ≦200℃ 直进能力 20N 旋转力矩 0.4Nm 型 号 Z轴移动距离(mm) A连接法兰 移动轴径(mm) 重量(kg) AMW-275/100 100（用户指定） ICF70-FH φ6 (g6) 0.8 其他规格对应可能

1.超高真空对应 2.采用成型波纹管 3.移动范围：±3°   型 号 A连接法兰 B移动法兰 C(mm) 倾斜角 重量(kg) AAN-275 ICF70-FT ICF70-FT 50 ±3° 0.7 真空漏率 ≦1.33×10-11Pa/m3/sec 真空密封 成型波纹管 驱动方式 螺丝式 烘烤温度 ≦200℃

适用于各种真空设备，特别是超高真空中的样品导入以及传输 型 号   重 量(Kg) AST-RL 0.08 AST-MH 0.10 AST-DP 0.06 驱动方式 弹 簧 烘烤温度 ≦200℃ 材 质 SUS304（弹簧部分除外） 1.AST-RL：可安装于AMF-275 样品的装卸简单   2.AST-MH：可安装于AMFW-275 可对应任何形状的样品架 3.AST-DP：可安装于AMWS-275  

适用于各种真空设备，特别是超高真空中的样品导入以及传输 1.超高真空对应 2.齿条/齿轮驱动 3.可增设第二轴     型 号 Z轴移动距离(mm) A连接法兰 B移动法兰 C(mm) 移动轴径 重量(kg) ALP-275/800 800 ICF70-FH ICF34-FT 980 φ8 (g6) 8.9 ALP-275/1000 1000 1180 9.6 ALP-275/1200 1200 1380 10.3 真空漏率 ≦1.33×10-11Pa/m3/sec 真空密封 焊接波纹管 驱动方式 齿条/齿轮驱动 烘烤温度 ≦200℃

适用于各种真空设备，特别是超高真空中的样品导入以及传输 1.超高真空对应 2.磁耦合方式采用 3.旋转防止（AMF-RL)选项   型 号 Z轴移动距离(mm) 移动轴径 A连接法兰 C(mm) 重量(Kg) AMF-133/100 100 φ6 (g6) ICF34-FH 286 1 AMF-133/150 150 336 AMF-133/200 200 386 2.1 AMF-133/250 250 436 AMF-133/300 300 486 AMF-133/400 400 586 2.2 真空漏率 ≦1.33×10-11Pa/m3/sec 驱动方式 磁耦合动力 烘烤温度 ≦200℃ 直进能力 50N 旋转力矩 0.4Nm

适用于各种真空设备，特别是超高真空中的样品导入以及传输 1.超高真空对应 2.磁耦合方式采用 3.第一轴：（360°连续旋转）/直进 4.第二轴：90°旋转 5.AST-MH型号传样头对应     型 号 Z轴移动距离(mm) A连接法兰 移动轴径(mm) 旋转角度 C(mm) 重量 (kg) AMF-275/400 400 ICF70-FH 第1轴：φ12 (g6) 第2轴：φ6 (g6) 第1轴：180° 第2轴：90° 720 5.4 AMF-275/500 500 820 7.7 AMF-275/600 600 920 6.8 AMF-275/700 700 1020 6.4 AMF-275/800 800 1120 6.8 AMF-275/900 900 1220 7.1 AMF-275/1000 1000 1320 7.4 真空漏率 ≦1.33×10-11Pa/m3/sec 驱动方式 磁耦合动力 烘烤温度 ≦200℃ 直进能力 60N 旋转力矩 0.6Nm（双轴都可）

适用于各种真空设备，特别是超高真空中的样品导入以及传输 1.超高真空对应 2.磁耦合方式采用 3.360°连续旋转和直进 4.φ10，φ16移动轴可选 5.旋转防止功能选项 6.远程操作更能选项 7.AST-RL型号传样头对应 型 号 Z轴移动距离(mm) A连接法兰 移动轴径(mm) C(mm) 重量 (kg) AMF-275/200 200 ICF70-FH φ10 (g6) φ16 (g6) 420 2.6 AMF-275/300 300 520 2.8 AMF-275/400 400 620 3.0 AMF-275/500 500 720 3.2 AMF-275/600 600 820 3.3 AMF-275/700 700 920 3.5 AMF-275/800 800 1020 3.7 AMF-275/900 900 1120 3.9 AMF-275/1000 1000 1220 4.1 AMF-275/1100 1100 1320 4.3 AMF-275/1200 1200 1420 4.5 真空漏率 ≦1.33×10-11Pa/m3/sec 驱动方式 磁耦合动力 烘烤温度 ≦200℃ 直进能力 60N 旋转力矩 0.6Nm

ACIG系列超高真空3KV离子枪是通过Ar离子束对衬底表面附着的碳化膜，酸化 膜等的照射而达到清洁表面的目的开发而成。 ACIG系列有两种控制器。 采用嵌入永久磁石的离子源，使离子化效率更高。无需使用差动排气，即使 是在样品室和离子化室的压差为3位以上的条件下也可以正常使用，保证样品 室具有良好真空环境。  离子源： 电子轰击型（永久磁石）  加速电压： MAX 3KV  反射电流： 0～30mA  离子电流量： 3μA（加速电压：3KV）  电子束径： φ1mm（加速电压：3KV）  集束线圈： 两段式静电线圈  XY偏光幅： ±20mm（扫描对应）  工作步进： 30mm～100mm  烘烤温度： ≦200℃  安装法兰： φ70ICF(CF34), H旋转法兰 《标准型号》ACIG-3P-C 标准系列ACIG-3P-C控制器是与离子加速电压1KV，2KV,3KV三点切换方式，具备样品电流检测，扫描功能，并且操作简单。  加速电压： 1KV～2KV/3KV(3点切换式)  发射电流： 0～30mA(连续可变/自动控制)  扫描功能： 20mm扫描(X/50Hz Y/10Hz)带外部周波数输入  样品电流监测： BNC端子输入  输出线： 5m(本体里面)  输入电力： AC100V/5A  外部安全闭锁： 无电压接点  尺寸： 149(H)×480(W)×500(D)mm(JIS标准机架对应) 《高机能》离子枪控制器 ACIG-3P-2 高机能系列ACIG-3P-2控制器是可实现离子加速电压的低电压和高电压之间的任意调节的根据需要对加速电压，镜头条件调节的高性能型号。作为可选项和扫描电源结合，可实现20nm×20nm范围内的面扫描。  加速电压： 0.1KV～3KV(连续可变)  发射电流： 0～30mA(连续可变/自动控制)  输出线： 5m(本体里面)  输入电力： AC100V/5A  外部安全闭锁： 无电压接点  尺寸： 199(H)×480(W)×500(D)mm(JIS标准机架对应)