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当前位置: 滨州创元设备 > 最新动态 > 涡轮分子排气系统 ATU-001系列

涡轮分子排气系统 ATU-001系列

滨州创元设备

2012/11/18 10:44

阅读:446

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简单实用:简洁设计,操作简单
用户自定义:9种真空泵可选
高性能:从大气压到高真空排气
可扩展组件:提供丰富组件搭配
涡轮分子排气系统 ATU-001系列
L
低型
H
高型

涡轮分子排气系统 ATU-001系列

涡轮分子排气系统
 
一次侧输入电源:
单相AC100V
电源线2m,底线付电源插头
阀门:
隔离阀(V-025SV-100)
配管:
NW25接口波纹管 SUS304
排气管:
NW25(16)-38聚氯乙烯管

涡轮分子排气系统 ATU-001系列
序号
型号(生产商)
排气速度
到达压力
 
备注
A
STP-301(EDWARDS)
300L/s
10-8Pa
 
排气口法兰 ICF152
冷却方式 空冷(付风扇)
付控制装置
B
TG220F(大阪真空)
210
10-6
 
C
PT150(岛津制作所)
190
10-8
 
D
HiPace300/TC110(伯东株式会社)
260
5×10-8
 
E
STP-ix455(EDWARDS)
300
10-8
 

前级泵
序号
型号(生产商)
排气速度
 
备注
R1
RV8(EDWARDS
141L/min
 
付除油雾器
(OME25S)
R2
M2010SD(Alcatel-Lucent)
141
 
R3
M2015SD(Alcatel-Lucent)
208
 
S1
ISP-250C-SV(阿耐思特岩田株式会社)
250
 

可选组件
序号
商品名
高型 低型 备注
     
P
 
T
把手
Q
真空计:冷阴极-皮拉尼复合真空计
(M-360CP) 显示器(M601GC)
F
前置油阱
(FL-20K)
K
TMP固定板
A
自动排气
X1
特别定做 分油器
ICF152×1,NW40×1
X2
特别定做 分油器
ICF152×1,ICF70×3,NW25×2
X3
特别定做 分油器
ICF152×2,ICF70×4
Z ※可根据具体要求设计定做



设计图 ATU-001

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