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离子枪

滨州创元设备

2012/10/31 16:16

阅读：928

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ACIG系列超高真空3KV离子枪是通过Ar离子束对衬底表面附着的碳化膜，酸化
膜等的照射而达到清洁表面的目的开发而成。

ACIG系列有两种控制器。

采用嵌入永久磁石的离子源，使离子化效率更高。无需使用差动排气，即使
是在样品室和离子化室的压差为3位以上的条件下也可以正常使用，保证样品
室具有良好真空环境。

规格
 离子源： 电子轰击型（永久磁石）
 加速电压： MAX 3KV
 反射电流： 0～30mA
 离子电流量： 3μA（加速电压：3KV）
 电子束径： φ1mm（加速电压：3KV）
 集束线圈： 两段式静电线圈
 XY偏光幅： ±20mm（扫描对应）
 工作步进：

30mm～100mm
 烘烤温度： ≦200℃
 安装法兰： φ70ICF(CF34), H旋转法兰
离子枪
设计图
数据图
《标准型号》ACIG-3P-C
标准系列ACIG-3P-C控制器是与离子加速电压1KV，2KV,3KV三点切换方式，具备样品电流检测，扫描功能，并且操作简单。 ACIG-3P-C
 加速电压： 1KV～2KV/3KV(3点切换式)
 发射电流： 0～30mA(连续可变/自动控制)
 扫描功能： 20mm扫描(X/50Hz Y/10Hz)带外部周波数输入
 样品电流监测： BNC端子输入
 输出线： 5m(本体里面)
 输入电力： AC100V/5A
 外部安全闭锁： 无电压接点
 尺寸： 149(H)×480(W)×500(D)mm(JIS标准机架对应)
《高机能》离子枪控制器 ACIG-3P-2

高机能系列ACIG-3P-2控制器是可实现离子加速电压的低电压和高电压之间的任意调节的根据需要对加速电压，镜头条件调节的高性能型号。作为可选项和扫描电源结合，可实现20nm×20nm范围内的面扫描。
 加速电压： 0.1KV～3KV(连续可变)
 发射电流： 0～30mA(连续可变/自动控制)
 输出线： 5m(本体里面)
 输入电力： AC100V/5A
 外部安全闭锁： 无电压接点
 尺寸： 199(H)×480(W)×500(D)mm(JIS标准机架对应)
   

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