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核心参数
产地类别： 进口
测量原理： 其它
测量范围： 几纳米至1000μm
精度： 横向分辨率0.1微米
探针作用力： 0.5至15mg
扫描长度： 0-30mm
台阶高度重复性： 5埃
垂直方向分辨率： 0.38埃
测量样品最大尺寸： 140mm
Alpha-Step D-300 探针式轮廓仪支持台阶高度、粗糙度、翘曲度和应力的2D 测量。光学杠杆传感器技术提供高分辨率测量，大垂直范围和低触力测量功能。
探针测量技术的一个优点是它是一种直接测量，与材料特性无关。可调节的触力以及探针的选择都使其可以对各种结构和材料进行测量。通过测量粗糙度和应力，可以对工艺进行量化，确定添加或去除的材料量，以及结构的任何变化。
二、 功能
设备特点
台阶高度：几纳米至1000μm
低触力：0.5至15mg
视频：500万像素率彩色摄像头
梯形失真校正：消除侧视光学系统引起的失真
圆弧校正：消除由于探针的弧形运动引起的误差
紧凑尺寸：小占地面积的台式探针式轮廓仪
主要应用
台阶高度：2D台阶高度
纹理：2D粗糙度和波纹度
形式：2D翘曲和形状
应力：2D薄膜应力
应用领域
半导体和复合半导体
SIMS：二次离子质谱
LED：发光二极管
太阳能
MEMS：微电子机械系统
汽车
医疗设备
三、应用案例
台阶高度
Alpha-Step D-300 探针式轮廓仪能够测量从几个纳米到1000μm的2D台阶高度。 这使其可以量化在蚀刻、溅射、SIMS、沉积、旋涂、CMP 和其他工艺期间沉积或去除的材料。 Alpha-Step系列具有低触力功能，可以测量如光刻胶的软性材料。
纹理：粗糙度和波纹度
Alpha-Step D-300 测量 2D 纹理，量化样品的粗糙度和波纹度。 软件过滤功能将测量值分离为粗糙度和波纹度的部分，并计算诸如均方根（RMS）粗糙度之类的参数。
外形：翘曲和形状
Alpha-Step D-300 可以测量表面的2D形状或翘曲。 这包括对晶圆翘曲的测量，例如在半导体或化合物半导体器件生产过程中，多层沉积层结构中层间不匹配是导致这类翘曲产生的原因。Alpha-Step 还可以量化包括透镜在内的结构高度和曲率半径。
应力：2D薄膜应力
Alpha-Step D-300 能够测量在生产包含多个工艺层的半导体或化合物半导体器件期间所产生的应力。 使用应力卡盘将样品支撑在中性位置测量样品翘曲。 然后通过应用Stoney方程，利用诸如薄膜沉积工艺的形状变化来计算应力。
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企业名称
上海纳腾仪器有限公司
企业信息已认证
企业类型
有限责任公司(国内合资)
信用代码
91310117685505991R
成立日期
2009-03-12
注册资本
人民币100.0000万元整
经营范围
分析仪器及配件、教学仪器及配件研发、生产(除计量器具)、销售;家用电器、电子产品、日用百货、办公用品、机械设备、计算机及配件、化工原料及产品(除危险化学品、监控化学品、烟花爆竹、民用爆炸物品、易制毒化学品)批发零售;纳米、医疗、化学、生物专业领域内的技术开发、技术转让、技术咨询、技术服务(不得从事诊疗活动、心理咨询);从事货物及技术的进出口业务。(依法须经批准的项目,经相关部门批准后方可开展经营活动)
上海纳腾仪器有限公司
公司地址
徐汇区零陵路599号快易名商办公楼707室
客服电话
公司名称： 上海纳腾仪器有限公司
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