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产品名称：离子束刻蚀系统
品牌：Elionix
型号：EIS-200
关键词标签：离子束蚀刻，干法蚀刻，离子束轰击，离子束减薄
简短描述：（<40字）：利用ECR技术产生高能Ar+离子束，Ar+离子束通过电场加速，对样品进行物理的轰击达到刻蚀作用。
一、简介
EIS-200是Elionix推出的一款基于电子回旋共振技术（ECR）的小型离子束蚀刻系统，特别适合于科研用离子束刻蚀、减薄，清洗、镀膜等。
EIS-200原理：
利用ECR技术产生高能Ar+离子束，Ar+离子束通过电场加速到达样品表面，对样品进行物理的轰击达到刻蚀作用。
EIS-200具有以下优点：
? 方向性好，各向异性，陡直度高，侧向刻蚀少
? 分辨率高
? 不受刻蚀材料限制，可对石英等材料进行蚀刻
? 可控制蚀刻Taper角
? 可以设定多样的实验条件
二、主要功能
l 主要应用
纳米级图案刻蚀
高深宽比蚀刻
表面清洁
离子减薄
l 技术能力
离子枪 | ECR型离子枪 |
离子化气体 | Ar、Xe等、惰性离子气体 |
N2、O2、CF4等、活性离子气体 | |
加速电压 | 100V～3000V 连续可变（高加速电压可选) (输出电流20mA MAX) |
离子束流密度 | Ar:1.5mA/cm2以上 (2kV加速時） |
O2:2.0mA/cm2以上 (2kV加速時） | |
离子束有效直径 | Φ20mm（FWHM35mm) |
离子束稳定度 | ±3％/2H |
大样品尺寸 | Φ4英寸 |
三、应用
纳米级图案刻蚀、高深宽比蚀刻、表面清洁、离子减薄等
? SiO2 on Si substrate
? Diamond Substrate（金刚石）
? Quartz (Mask)
? Oriented PET film
用户单位
采购时间
采购数量
上海微系统所
2019/03/29
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其他半导体检测仪EIS-200的使用方法?
EIS-200多少钱一台?
其他半导体检测仪EIS-200可以检测什么？
其他半导体检测仪EIS-200使用的注意事项？
EIS-200的说明书有吗？
其他半导体检测仪EIS-200的操作规程有吗？
其他半导体检测仪EIS-200报价含票含运吗？
EIS-200有现货吗？
企业名称
上海纳腾仪器有限公司
企业信息已认证
企业类型
有限责任公司(国内合资)
信用代码
91310117685505991R
成立日期
2009-03-12
注册资本
人民币100.0000万元整
经营范围
分析仪器及配件、教学仪器及配件研发、生产(除计量器具)、销售;家用电器、电子产品、日用百货、办公用品、机械设备、计算机及配件、化工原料及产品(除危险化学品、监控化学品、烟花爆竹、民用爆炸物品、易制毒化学品)批发零售;纳米、医疗、化学、生物专业领域内的技术开发、技术转让、技术咨询、技术服务(不得从事诊疗活动、心理咨询);从事货物及技术的进出口业务。(依法须经批准的项目,经相关部门批准后方可开展经营活动)
上海纳腾仪器有限公司
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