仪器简介:
采用独创制造工艺,可把平面纳米压印拓展到任意曲面。标准模板分为三类:Quartz Molds, Silicon Molds, Polymer Molds of 2"、3"、4"。适用于Obducat,Suss,HP,EVG等多种型号的纳米压印设备。
技术参数:
Delivery of nanoimprint templates in various materials (Si, SiNx, SiC, quartz,glass).Maximum area of the templates:4 inch with feature size of 100 nm. For smaller area, minimum feature size of 50 nm.
提供各种材料的纳米压印模板(硅,氮化硅,碳化硅,石英玻璃)。模板最大尺寸:4英寸,特征尺寸为100nm。对于更小的尺寸,最小的特征尺寸可以达到50nm。
Delivery of EBL service for various structures with the feature size down to 30nm.Substrates: any conducting or non-conducting wafers.
提供最低30nm特征尺寸的各种结构的电子束刻蚀服务。基板:任何导电或者非导电晶片。
Micro and nanofabrications for all kinds of nanostructures in a Si, III-V, II-VI and polymers.
各种纳米结构(硅,III-V族元素,II-VI族元素以及聚合物)的微纳米加工。
主要特点:
soft mold for thermal nanoimprint 热压印的软模板
quartz mold for UV nanoimprint 紫外压印的石英模板
silicon mold for thermal nanoimprint 热压印的硅模板
电子束刻蚀石英/硅/聚合物模板的工作原理介绍
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企业名称
上海纳腾仪器有限公司
企业信息已认证
企业类型
有限责任公司(国内合资)
信用代码
91310117685505991R
成立日期
2009-03-12
注册资本
人民币100.0000万元整
经营范围
分析仪器及配件、教学仪器及配件研发、生产(除计量器具)、销售;家用电器、电子产品、日用百货、办公用品、机械设备、计算机及配件、化工原料及产品(除危险化学品、监控化学品、烟花爆竹、民用爆炸物品、易制毒化学品)批发零售;纳米、医疗、化学、生物专业领域内的技术开发、技术转让、技术咨询、技术服务(不得从事诊疗活动、心理咨询);从事货物及技术的进出口业务。(依法须经批准的项目,经相关部门批准后方可开展经营活动)
上海纳腾仪器有限公司
公司地址
徐汇区零陵路599号快易名商办公楼707室
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