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当前位置：覃思科技 > 等离子体表面处理仪 > EM-KLEEN电镜腔室清洁等离子体表面处理仪

EM-KLEEN电镜腔室清洁等离子体表面处理仪

品牌： PIE(派)

产地：美国

型号： EM-KLEEN

样本：下载

报价：面议

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PIE(派)表面处理仪EM-KLEEN的工作原理介绍表面处理仪EM-KLEEN的使用方法?
PIE(派)EM-KLEEN多少钱一台?表面处理仪EM-KLEEN可以检测什么？
表面处理仪EM-KLEEN使用的注意事项？PIE(派)EM-KLEEN的说明书有吗？
PIE(派)表面处理仪EM-KLEEN的操作规程有吗？PIE(派)表面处理仪EM-KLEEN报价含票含运吗？
PIE(派)EM-KLEEN有现货吗？

核心参数

仪器种类：进口等离子体表面处理仪

射频频率： 13.56MHz

功率： 75W

设备尺寸：取决于电镜腔室容积

样品腔容积：取决于电镜腔室容积

样品腔材质：电镜腔室,金属

工作气体： 1路可选3路气体混合器

控制方式：全自动

Microwave Plasma： no

underfill plasma： no

wafer plasma： no

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产品介绍

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EM-KLEEN电镜腔室清洁等离子体表面处理仪

（电镜真空腔室等离子清洁仪；远程等离子清洁仪）

美国PIE出品的EM-KLEEN电镜腔室清洁等离子体表面处理仪，广泛用于SEM扫描电镜,FIB聚焦离子束双束电镜,TEM透射电镜,XPS_X射线光电子能谱分析仪,ALD原子层沉积系统,CD-SEM, EBR, EBI, EUVL和其它高真空系统，可同时清洁真空腔室和样品！

污染物对电子显微镜SEM/TEM和其它高真空系统产生的影响

润滑剂、真空脂、泵油样品中的高分子聚合物，或未经处理的空气都会把碳氢污染物引到真空系统中。低蒸汽压下高分子重污染物会凝聚在样品表面和腔室壁上，而使用普通气体吹扫方法很难把碳氢污染物清除。

电子和高能光子(EUV, X-ray)能够分解存在于真空系统中或样品上的碳氢污染物。碳氢化合物的分解产物沉积在被观测的样品表面或电子光学部件上。这种碳氢污染沉积会降低EUV的镜面反射率，降低SEM图像对比度和分辨率，造成错误的表面分析结果，沉积在光阑或其它电子组件的不导电碳氢污染物甚至会造成电子束位置或聚焦缓慢漂移。在ALD系统中，样品表面的碳氢污染物还会降低薄膜的界面匹配质量。

远程等离子清洁的原理

远程等离子源需安装在要被清洁的真空腔室上，控制器向远程离子源提供射频能量。射频电磁场能激发等离子体，分解输入气体而产生氧或氢的活性基，活性基会扩散到下游的真空腔室，并与其中的污染物发生化学反应，反应产物能轻易地被抽走。远程等离子清洗机可同时清洁真空系统和样品。

技术特点：

快速清洁被污染的SEM样品。2-60秒氢等离子体清洁ALD样品。不需减速或关闭涡轮分子泵
低等离子偏压设计减少离子溅射和颗粒生成。结合自有专用多级气体过滤技术，SEMI-KLEEN能够满足用户最苛刻的颗粒污染清除要求
可选蓝宝石管腔体和耐腐蚀性气体的流量控制器，以便支持CF4, NF3, NH3, HF, H2S等应用
拥有等离子强度传感器可实时监测等离子状态，用户对等离子状态一目了然
基于压力传感回馈控制的自动电子流量控制器，无需手动调节针阀
直观的触摸屏操作，可定义60条清洗程序方案
拥有智能安全操作模式和专家控制模式；SmartSchedule^TM定时装置，通过检测样品装载次数或时间间隔来定时清洁系统
低电磁干扰设计，安静的待机模式

售后服务

保修期： 1年

是否可延长保修期：是

现场技术咨询：有

免费培训：安装时免费培训操作和维护方法

免费仪器保养：不定期上门回访服务

保内维修承诺：免费更换零部件免人工服务费

报修承诺： 24小时内电话指导排除故障如需要将在35个工作日内上门维修

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相关资料

英国EM R公司出品的PMMA系列光刻胶技术资料（1%-17%电子束曝光阻剂）

Made in UK, 英国EM Resist Ltd出品的光刻胶（1%-17% PMMA、SML系列电子束曝光阻剂），PMMA是常用的普通正阻剂；SML系列阻剂是高分辨率高深宽比的正阻剂。高档的SML正阻剂特点：无需邻近效应校正，低加速电压下也能使用，可提高EBL设备能力并制作出传统PMMA做不出来的新颖微纳器件，特别适合科研应用；有SML50、SML100、SML300、SML600、SML1000、SML2000等系列型号（数字表示光刻胶涂布厚度）。(www.tansi.com.cn).

1206KB

2014/05/29

工商信息

企业名称

南京覃思科技有限公司

企业信息已认证

企业类型

有限责任公司(自然人投资或控股)

信用代码

913201067594581806

成立日期

2004-03-12

注册资本

500万元整

经营范围

电子光学仪器、光学仪器、分析仪器、测量仪器、仪器仪表研发及销售;计算机系统集成;计算机软硬件、工业自动化系统设计、安装、调试及技术服务;仪器仪表设备维修及销售;化工产品、耗材、建筑材料、环保设备、五金交电、办公设备、机电产品、日用百货销售;自营和代理各类商品及技术的进出口业务(国家限定企业经营或禁止进出口商品和技术的除外)。(依法须经批准的项目,经相关部门批准后方可开展经营活动)

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南京市中山北路281号新城市广场虹桥中心2-728B

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南京覃思科技有限公司为您提供PIE(派)EM-KLEEN电镜腔室清洁等离子体表面处理仪，PIE(派)EM-KLEEN产地为美国，属于等离子体表面处理仪，除了EM-KLEEN电镜腔室清洁等离子体表面处理仪的参数、价格、型号、原理等信息外，还可为您提供美国PIE等离子清洗仪、Tergeo系列刻蚀灰化仪_等离子体表面处理仪、多功能TEM样品杆清洁仪等离子体表面处理仪,覃思科技客服电话400-860-5168转1300，售前、售后均可联系。

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主营产品：

镀膜机扫描电镜（SEM）透射电子显微镜（透射电镜、TEM）电镜附件及外设离子溅射仪等离子体表面处理仪涂覆机离心机、实验室离心机凝胶净化系统（GPC）其它纯化设备浓缩仪临界点干燥仪真空泵涂布机 X射线探测装置电化学发光检测仪电镜制样设备聚焦离子束显微镜扫描透射电子显微镜显微图像分析系统位移台光学平台 CCD相机/影像CCD CMOS相机标本成像设备图像粒度粒形分析仪扭转试验机、弯曲试验机拉力试验机其它试验机孔径/隙度分析仪 X射线探伤仪及加速器工业CT 视觉检测超声波清洗器 PCR 核酸纯化系统/核酸提取仪酶标仪/微孔板读板机蛋白印迹仪电泳仪及配套设备凝胶成像系统细胞分离/提取仪过滤器、超滤、微滤系统食品安全快速检测仪灰熔点测定仪、灰熔融性测定仪其他测试系统真空计其它工业颗粒度仪仪器安装调试仪器维修保养产品培训技术咨询数据处理工作站及软件 CT 固定式X摄像摄影系统 X射线骨密度仪物理气相沉积设备探针台无掩模光刻机/直写光刻机电子束曝光机等离子体刻蚀设备半导体行业专用软件镊子/夹子其他金相耗材干燥器真空油脂其他耗材载玻片盖玻片包埋盒试剂盒其他生物耗材防静电手套光栅导电胶载网染色靶材包埋板电镜光阑 AFM探针薄膜窗格样品盒电镜灯丝其他电镜配件载网支持膜储存盒样品台高弹膜盒泵油离子源衍射仪标样拉伸夹具探针 PCR试剂 ELISA试剂盒生物分子分析仪器用试剂钢铁标准物质/标准品地质、矿产标准物质/标准品有色金属标准物质/标准品仪器鉴定用标准物质/标准品物理及物理化学性质标准物质/标准品其它标准物质/标准品

友情链接：

美国PIE Scientific LLC公司美国JC Nabity公司（NPGS电子束曝光系统）加拿大KAImaging

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