核心参数
仪器种类: 进口等离子体表面处理仪
射频频率: 13.56MHz
功率: 75W
设备尺寸: 取决于电镜腔室容积
样品腔容积: 取决于电镜腔室容积
样品腔材质: 电镜腔室,金属
工作气体: 1路可选3路气体混合器
控制方式: 全自动
Microwave Plasma: no
underfill plasma: no
wafer plasma: no
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