核心参数
加热方式: 热壁
产地类别: 进口
应用领域: 半导体
沉积速率: 520nm/min
控制气体: SiH4、NH3、N2
沉积薄膜种类: SiO2、Si3N4、SiOF、SiOCH、SiC
背底真空: -300 to 50
工作气压: 0.2T to 2T
内部尺寸: 最大支持8寸晶圆
其它参数
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企业名称
新耕(上海)贸易有限公司
企业信息已认证
企业类型
有限责任公司(外国法人独资)
信用代码
91310115735403361P
成立日期
2002-01-24
注册资本
500万(美元)
经营范围
一般项目:机械设备、电子产品、贱金属制品、仪器仪表、橡胶制品、塑料制品、化工产品(除危险化学品、监控化学品、民用爆炸物品、易制毒化学品)的批发、佣金代理(拍卖除外)、进出口及其他相关配套业务,国际贸易、转口贸易、区内企业间的贸易及区内贸易代理,区内贸易咨询服务及区内商品展示。(除依法须经批准的项目外,凭营业执照依法自主开展经营活动)
新耕(上海)贸易有限公司
公司地址
上海市浦东新区福山路450号22楼A座
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