核心参数
产地类别: 国产
测量原理: 光电式
测量范围: 10nm-1000um
精度: ±0.01%
探针尖半径: 2um
探针作用力: 0.03-15mg
扫描长度: 单次最大扫描长度 30mm
台阶高度重复性: 0.5nm,1um标准样片测量15次计算标准方差
垂直方向分辨率: 0.038nm
测量样品最大尺寸: 140mm直径圆形载台
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