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Plasma-Therm工艺设备PECVD / HDPCVD

品牌: Plasma-Therm
产地: 美国
型号: PECVD / HDPCVD / RIE / ICP / DSE
报价: 面议
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产品介绍

400-860-5168转1185

                   Plasma-Therm是致力于PECVD/HDPCVD/RIE/ICP/DSE的世界知名设备提供商, 产品涵盖2”~ 12”主流干法刻蚀/PECVD工艺,广泛应用于半导体、MEMS、三五族(GaAs / SiC / CPV)、LED、SOI及半导体后段TSV领域
 
仪器简介:

  • 2”~12” 手动 / 半自动 / 全自动(片盒对片盒)

  • 领域 : 半导体前后段 / MEMS / 三五族(GaAs / SiC / CPV) / LED / SOI / TSV

  • 制程 : PECVD / HDPCVD / RIE / ICP / DSE

 
特点:

  • Plasma-Therm公司有将近40年研发及制造干法刻蚀/PECVD设备的历史

  • Plasma-Therm设备具有高稳定性与高可靠度

  • Plasma-Therm自有的软硬件设计及完善QC系统

  • Plasma-Therm设备配置灵活,包含手动、半自动、全自动(片盒对片盒)型号满足实验室研发及量产客户需求

  • Plasma-Therm设备在行业内高占有率:目前世界范围内装机数量超过1600台

  • Plasma-Therm PECVD设备:具有良好的uniformity(3%)和温度控制技术

  • Plasma-Therm RIE / ICP设备:具有高刻蚀速率,低损伤, 良好的温度均匀性控制(独有的整个反应腔陶瓷加热技术),方便的腔体清洁技术以及灵敏的刻蚀断点监测技术

  • Plasma-Therm DES设备:应用于MEMS及TSV领域,主要用于高深宽比刻蚀, morphing技术确保侧壁的profile的精确控制,快速气体切换技术(专利)确保刻蚀的侧壁平滑,独有的压力控制技术(专利),高灵敏的刻蚀断点监测技术

  • Plasma-Therm连续15年被VLSI评为10 Best设备供应商

应用领域:

  • 半导体:

  • 三五族(GaAs / SiC / CPV)

  • MEMS / SOI

  • LED

  • 半导体后段及TSV

售后服务
保修期: 1年
是否可延长保修期:
现场技术咨询:
免费培训: 1
免费仪器保养: 1
保内维修承诺:
报修承诺: 48小时内上门
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Plasma-Therm其它行业专用PECVD / HDPCVD / RIE / ICP / DSE的工作原理介绍

其它行业专用PECVD / HDPCVD / RIE / ICP / DSE的使用方法?

Plasma-ThermPECVD / HDPCVD / RIE / ICP / DSE多少钱一台?

其它行业专用PECVD / HDPCVD / RIE / ICP / DSE可以检测什么?

其它行业专用PECVD / HDPCVD / RIE / ICP / DSE使用的注意事项?

Plasma-ThermPECVD / HDPCVD / RIE / ICP / DSE的说明书有吗?

Plasma-Therm其它行业专用PECVD / HDPCVD / RIE / ICP / DSE的操作规程有吗?

Plasma-Therm其它行业专用PECVD / HDPCVD / RIE / ICP / DSE报价含票含运吗?

Plasma-ThermPECVD / HDPCVD / RIE / ICP / DSE有现货吗?

工商信息

企业名称

新耕(上海)贸易有限公司

企业信息已认证

企业类型

有限责任公司(外国法人独资)

信用代码

91310115735403361P

成立日期

2002-01-24

注册资本

500万(美元)

经营范围

一般项目:机械设备、电子产品、贱金属制品、仪器仪表、橡胶制品、塑料制品、化工产品(除危险化学品、监控化学品、民用爆炸物品、易制毒化学品)的批发、佣金代理(拍卖除外)、进出口及其他相关配套业务,国际贸易、转口贸易、区内企业间的贸易及区内贸易代理,区内贸易咨询服务及区内商品展示。(除依法须经批准的项目外,凭营业执照依法自主开展经营活动)

联系方式
新耕(上海)贸易有限公司为您提供Plasma-Therm工艺设备PECVD / HDPCVD PECVD / HDPCVD / RIE / ICP / DSE,Plasma-ThermPECVD / HDPCVD / RIE / ICP / DSE产地为美国,属于其它行业专用,除了Plasma-Therm工艺设备PECVD / HDPCVD 的参数、价格、型号、原理等信息外,还可为您提供更多其它行业专用,新耕贸易客服电话400-860-5168转1185,售前、售后均可联系。

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公司地址: 上海市浦东新区福山路450号22楼A座 联系人: 李安芃 邮编: 200122 联系电话: 400-860-5168转1185

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