HFV® 變頻 (~2 MHz) 電源 |
靈活的 HFV® 電源主要用於200和300 mm 晶圓製程、平面顯示器和 DVD 設備的電漿產生器,為離子化物理氣相沉積 (IPVD)、CVD 和蝕刻提供了製程一致性。這種通用電源的特點有數位合成變頻輸出和微處理器控制,輸出功率為5和8 kW。此外,其輸出頻率範圍為1.765-2.165 MHz。韌體上的頻率調諧參數可進行訂製,以確保在各種反應室結構和製程方法下的可重複運行。 |
企业名称
新耕(上海)贸易有限公司
企业信息已认证
企业类型
有限责任公司(外国法人独资)
信用代码
91310115735403361P
成立日期
2002-01-24
注册资本
500万(美元)
经营范围
一般项目:机械设备、电子产品、贱金属制品、仪器仪表、橡胶制品、塑料制品、化工产品(除危险化学品、监控化学品、民用爆炸物品、易制毒化学品)的批发、佣金代理(拍卖除外)、进出口及其他相关配套业务,国际贸易、转口贸易、区内企业间的贸易及区内贸易代理,区内贸易咨询服务及区内商品展示。(除依法须经批准的项目外,凭营业执照依法自主开展经营活动)
新耕(上海)贸易有限公司
公司地址
上海市浦东新区福山路450号22楼A座
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