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Rave光罩雾化污染去除系统Rhazer及先进光罩修复系统nm450

品牌: Rave
产地: 美国
型号: Rave光罩雾化污染去除系统Rhazer及先进光罩修复系统nm450
报价: 面议
产品介绍

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技术参数:

Rave 公司成立于1996,是专业从事开发和生产先进光罩修复(Advanced Mask Repair)及光罩雾化污染去除系统 ( Haze Removal)的设备供应商。目前,Rave在光罩领域的市场占有率已达到世界第一,成为了这一行业的领导者和开拓者。



主要特点:

光罩雾化污染去除系统 Rhazer

◆雾化污染的去除率高:100% (只去除污染物,无需去除表面薄膜),无相位角损失; 
◆光罩材料:Chrome, MoSi, Quartz; 尺寸:150mm x 150mm x 25mm; 
◆高效:干法工艺,无需除去薄膜; 
◆低CoO:极大地提高了Haze污染的管理效率和光罩使用周期,提升良率; 
◆全自动化运行,占地面积小,无有害气体或液体,无需消耗去离子水、酸液等化学品。 


先进光罩修复系统nm450 

◆适用于各种类型的纳米级光罩的修复并有助于32nm光罩的研发; 
◆独立的材料合成以及材料接触面控制(Chrome, MoSi, Quartz, EUV, Foreign Materials)。无需复杂的工艺气体、操作及应用十分方便、全自动运行模式、便利的操作界面控制; 
◆极强的深度控制--(z)控制,3 nm (3Σ from Target) 适用于所有材料; 
◆边缘的布置--5 nm (3Σ from Target),适用于所有材料; 
◆重复修补及平面材料去除能力保证了非常宽的“through focus” 传送窗口; 
◆在光罩修复领域nm450的市场占有率为全球第一。

工商信息

企业名称

新耕(上海)贸易有限公司

企业信息已认证

企业类型

有限责任公司(外国法人独资)

信用代码

91310115735403361P

成立日期

2002-01-24

注册资本

500万(美元)

经营范围

一般项目:机械设备、电子产品、贱金属制品、仪器仪表、橡胶制品、塑料制品、化工产品(除危险化学品、监控化学品、民用爆炸物品、易制毒化学品)的批发、佣金代理(拍卖除外)、进出口及其他相关配套业务,国际贸易、转口贸易、区内企业间的贸易及区内贸易代理,区内贸易咨询服务及区内商品展示。(除依法须经批准的项目外,凭营业执照依法自主开展经营活动)

联系方式
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