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应用: ◆ASML、Nikon、Canon光刻机等。
日本Gigaphoton公司是全球顶尖的深紫外光刻机(DUV Scanner)的光源供应商,其研发并生产的KrF(248nm)准分子激光与ArF(193nm)准分子激光代表了当今半导体业界的最前沿技术。
◆波长控制技术:通过使用Piezo控制技术使得波长控制响应时间大为缩短; ◆腔体寿命延长:通过改进腔体电极的材料,使得腔体寿命进一步延长; ◆KrF:技术成熟,稳定性高(Uptime 达99.9%),耗材寿命长,现已成为各大半导体厂商标准配置; ◆ArF:设计先进,稳定性高,CoC(运行成本)与CoD(停机维护成本)都达到了业界最好水平; ◆ArF Immersion:ArF 浸润式是目前可量产的光刻技术极限。Gigaphoton 是一个被半导体厂商和光刻机厂商认可的光源供应商,也是最早进入量产阶段的厂商。其设计先进,具有波长和带宽稳定控制技术、耗材复用及长寿命技术、化学气体长周期使用等一系列提高性能与稳定性并降低运行成本的核心技术。ArF Immersion机台率先使用了带宽控制(BCM)技术,能够稳定的控制E95,减少CD Error的出现。
企业名称
新耕(上海)贸易有限公司
企业信息已认证
企业类型
有限责任公司(外国法人独资)
信用代码
91310115735403361P
成立日期
2002-01-24
注册资本
500万(美元)
经营范围
一般项目:机械设备、电子产品、贱金属制品、仪器仪表、橡胶制品、塑料制品、化工产品(除危险化学品、监控化学品、民用爆炸物品、易制毒化学品)的批发、佣金代理(拍卖除外)、进出口及其他相关配套业务,国际贸易、转口贸易、区内企业间的贸易及区内贸易代理,区内贸易咨询服务及区内商品展示。(除依法须经批准的项目外,凭营业执照依法自主开展经营活动)
公司地址
上海市浦东新区福山路450号22楼A座
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公司名称: 新耕(上海)贸易有限公司
公司地址: 上海市浦东新区福山路450号22楼A座 联系人: 李安芃 邮编: 200122 联系电话: 400-860-5168转1185
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