纳米颗粒与磁控溅射综合系统在1纳米颗粒膜制备中的应用

近日，奥地利TDK公司与格拉茨技术大学（Graz University of Technology）合作，利用Quantum Design公司新推出的具有AFM-SEM原位同步技术的FusionScope多功能显微镜对BaTiO3陶瓷的晶界势垒进行了直接测量，并与相关理论结果进行了对比。此外，通过向陶瓷内添加不同含量的SiO2，明确了晶界势垒能量变化的相关微观机理。

近日，德国Technische Universitat Braunschweig相关课题组通过低温刻蚀法制备了具有高深宽比的纳米线阵列并对其进行了系统性的研究。该研究针对刻蚀气氛，刻蚀时间，刻蚀功率和刻蚀温度等条件对最终制备的纳米结构的形貌进行了深入研究。文中使用先进的AFM/SEM二合一显微镜-FusionScope对不同刻蚀结果的高度、形貌、均匀性和粗糙度等方面进行了细致的分析和总结。

AFM/SEM二合一显微镜-FusionScope作为一款全新的集成式显微镜，拥有强大的材料形貌表征能力。设备通过SEM侧向视野，精准定位探针位置，针对性地对目标区域进行扫描。 在力学测试中，FusionScope通过SEM提供的视野，研究者可以实现对特定样品表面的力学性能测试，并且能够清晰地观察探针对样品的压痕过程。无论是想要探究材料的硬度、弹性模量还是断裂韧性，能在FusionScope中得到答案！

近日，格拉茨技术大学相关团队提出了基于聚焦电子束诱导沉积（Focused Electron Beam Induced Deposition，FEBID）方法制备具有准确纳米尺度3D几何结构的等离子体纳米结构。同时，作者通过FusionScope多功能显微镜和透射电镜（TEM）对相应的3D纳米结构进行了原位几何尺寸的表征。然后，使用扫描透射电子显微镜的电子能量损失谱仪（STEM-EELS）对所制备的3D纳米结构的等离子性能进行表征。所测量的结果与相关模拟计算结果相比，两者结果相互吻合，证明了通过FEBID的方法制备3D等离子体纳米结构的可行性。