“微”祝福｜小型台式无掩膜光刻落户深圳大学为您献上微加工的圣诞祝福

由英国皇家科学院院士、剑桥大学卡文迪许实验室Russell Cowburn教授亲自设计并研发的小型台式无掩膜激光直写仪（MicroWriter ML3, Durham Magneto Optics, Ltd.）于近日在深圳大学成功安装并应用。该无掩膜光刻系统具有操作灵活、结构小巧（70 cm × 70 cm × 70 cm）、直写速度快、分辨率高（< 1 μm）等特点。直写时无需掩膜版，可利用画图软件直接设计版图进行直写曝光。同时，MicroWriter售价及维护成本低，应用操作具人性化，可为光机电、微流控和半导体等领域的实验室提供佳的微加工解决方案。

经过不断的升和发展，MicroWriter目前在中国已有近50多家用户群体，包括清华大学、北京大学、中国科学院、南京大学、复旦大学、中国科技大学、华中科技大学等在内的高校研究所，研究领域涵盖材料、物理、化学、机械、光电子等各个领域。

图1. （左）安装在深圳大学的小型无掩膜激光直写系统（MicroWriter ML3 Baby）；（右）由MicroWriter直写完成的“圣诞祝福”曝光结果

图2. 利用该小型激光直写系统（MicroWriter ML3 pro）制备的超精细线条（~ 0.6μm）阵列曝光结果（其中标尺大小为10μm）

图3. 利用MicroWriter可以实现准3D的灰度曝光（0 – 255阶），左图为实现灰度曝光的设计版图，右图为实际的曝光结果（曝光图形实际尺寸为 500μm × 500μm）

相关参考：

1.英国皇家科学院院士、剑桥大学教授Russell Cowburn介绍：https://www.phy.cam.ac.uk/directory/cowburnr