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纳米薄膜热导率测试系统-TCN-2ω
— 薄膜材料的热导率评价将变得为简便
日本Advance Riko公司推出的纳米薄膜热导率测试系统是使用2ω方法测量纳米薄膜厚度方向热导率的商用系统。与其他方法相比，样品制备和测量为简单。
纳米薄膜热导率测试系统特点：
1. 在纳米尺度衡量薄膜的热导率
开发出的监测周期加热过程中热反射带来的金属薄膜表面温度变化的方法，通过厚度方向上的一维热导模型计算出样品表面的温度变化，为简便的衡量厚度方向上热导率。（日本：5426115）
2. 样品制备简单
不需要光刻技术即可将金属薄膜（1.7mm×15mm×100nm）沉积在薄膜样品上。
纳米薄膜热导率测试系统应用：
1. 热设计用薄膜热导率评价的优先选择。
low-k薄膜，有机薄膜，热电材料薄膜
2. 可用于评价热电转换薄膜
纳米薄膜热导率测试系统测量原理：
当使用频率为f的电流周期加热金属薄膜时，热流的频率将为电流频率的2倍（2f）。如果样品由金属薄膜（0）-样品薄膜（1）-基体（s）组成（如图），可由一维热导模型计算出金属薄膜上表面的温度变化T(0)。
假设热量全部传导到基体，则T(0)可由下式计算：
（λ/Wm-1K-1，C/JK-1m-3，q/Wm-3，d/m，ω（=2πf）/s-1）
式中实部（同相振幅）包含样品薄膜的信息。如热量全部传导到基体，则同相振幅正比于(2 ω)0.5，薄膜的热导率（λ1）可由下式给出：
（m：斜率，n：截距）
纳米薄膜热导率测试系统参数：
1. 测试温度：室温
2. 样品尺寸：长10～20mm，宽10mm
厚0.3～1mm（含基体）
3. 基体材料：Si（推荐）
Ge，Al2O3（高热导率）
4. 样品制备：样品薄膜上需沉积金属薄膜（100nm）
（推荐：金）
5. 薄膜热导率测量范围：0.1～10W/mK
6. 测试氛围：大气
设备概念图
样品准备
Si基底上的SiO2薄膜（20-100nm）测量结果
d1 / nm | 19.9 | 51.0 | 96.8 |
λ1/ W m-1 K-1 | 0.82 | 1.03 | 1.20 |
发表文章
1. K. Mitarai et al. / J. Appl. Phys. 128, 015102 (2020)
2. M. Yoshiizumi et al. / Trans. Mat. Res. Soc. Japan 38[4] 555-559 (2013)
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企业名称
QUANTUM量子科学仪器贸易（北京）有限公司
企业信息已认证
企业类型
信用代码
110000410217679
成立日期
2004-10-10
注册资本
20
经营范围
磁性物体测量系统、物理性物体测量系统、超导量子干涉装置的探头以及有关电子产品的批发、佣金代理(拍卖除外)、进出口及售后服务、咨询服务(涉及配额许可证管理、专项管理规定的商品按照国家有关规定办理)。(非货币出资4万美元。依法须经批准的项目,经相关部门批准后依批准的内容开展经营活动。)
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