ETD-3000型离子溅射仪是依据二极(DC)直流溅射原理设计而成的,最简单、可靠、经济的镀膜设备。
适用于电镜实验室的扫描电子显微镜(SEM)样品制备,非导体材料实验电极制作。
1. 配置有样品溅射室真空表和溅射电流表,用以指示、监控仪器状态;
2. 溅射电流调整控制器、微型真空气阀。在工作时结合内部自动控制电路很容易控制真空室压强、电离电流及任意选择所需要的电离气体,获得最佳镀膜效果;
3. 特殊设计的钟罩边缘橡胶密封圈,可保证长期使用不会出现影响样品溅射室真空度的玻璃钟罩“崩边”现象;
4. 陶瓷密封高压头比通常采用橡胶密封的更经久耐用;
5. 根据电场中气体电离特性,采用大容量样品溅射真空室和相应面积溅射靶,使溅射镀层更均匀纯净。
配置参数如下:
2主机规格:L360mm*W300mm*H380mm
2靶(上部电极):金:直径:50mm,厚度:0.1mm
2真空样品室: 直径:160mm,高:120mm
2溅射面积: Ф50mm
2真空指示表: 最高真空度:≤ 4X10-2 mbar
2离子电流表: 最大电流:100mA
2定时器: 最长时间:3600S
2微型真空气阀: 可连接φ3mm软管
2可通入气体: 多种
2最高电压: -3000 DCV
2机械泵: 2L/S
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企业名称
世友创业(北京)科技有限公司
企业信息已认证
企业类型
信用代码
110105007492358
成立日期
2004-09-15
注册资本
50
经营范围
技术推广服务;销售机械设备、五金交电、电子产品、建材、制冷空调设备、家用电器、医疗器械;经济贸易咨询。(企业依法自主选择经营项目,开展经营活动;依法须经批准的项目,经相关部门批准后依批准的内容开展经营活动;不得从事本市产业政策禁止和限制类项目的经营活动。)
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