直流电源/异常放电防止器A2K

日本ULVAC公司生产的DC电源,除用于AL,Ni等DC磁控溅射外,组合异常放电防止器A2K使用,可脉冲正向电压

对SiN,DLC等反应性DC溅射工艺.中和其靶材表面电荷.消除灭弧,保证高速成膜.还可以作为偏压电源使用.

针对已成型溅射工艺设备.进行加装及更换均可.实现低成本的前提下增加产量,保证成品率.

DCS系列,DPG系列的型号参数:

型号    DCS0052B  DCS0202B  DCS0402B  DPG-10 DPG-10H DPG-20 DPG-20H DPG-30R

额定功率   500W   2KW   4KW   10KW  10KW  20KW  20KW  30KW

最大输出电压  800V   同左   同左   同左  1000V 800V  1000V 1200V

最大输出电流  1.25A  5A   10A   25A  16.7A 50A  33.3A 55A

无负荷电压  -1100V以上 〃   〃   〃  〃  〃  〃  〃

输入电压   95~121V单相 190~242V3相 AC208V  同左  同左  同左  同左  AC380V~480V

190~242V单相

使用温度范围  0~40度  同左   同左   10~40度 同左  同左  同左  同左

使用湿度范围  0~90%  同左   同左   0~90% 同左  同左  同左  同左

控制器   内置   同左   同左   同左  同左  同左  同左  选项.

并联最大功率  独立   同左   同左   最大12台(总功率120~240KW)   240KW