意力博通溅射仪ETD-2000

溅射离子泵的工作过程

首先, 电源启动, 在阴阳极板间产生高压。由于级间距离很近, 根据E=U/d 可知, 电场强度E数值非常大, 尤其在阳极筒壁边缘处。在强大的电场和与之平行的磁场作用下, 电子以螺旋线方式高速运动, 由于电子运动行程的增加, 大大提高了与气体分子碰撞的几率。电子在空间与气体分子碰撞产生正离子和二次电子, 产生的电子继续与气体分子碰撞产生新的正离子和电子。此种放电称为潘宁放电, 潘宁放电能在很低的压强下进行。

溅射离子泵的组成

溅射离子泵主要由阳极、阴极、永磁铁和泵体四大部分组成。 阳极是由多个不锈钢圆筒排列组成的蜂窝状结构, 阴极是两块平行的钛合金板, 将阳极夹在中间, 三者相互间保持一定距离并通过高压绝缘陶瓷连接。阳极施加3~7 kV 直流高压, 阴极接地。阴阳极板被泵体密封在内部, 在泵体外部吸附相对放置的两块永磁铁, 磁场方向与极板垂直, 磁感应强度1000~2000 Gs。

离子镀膜的原理

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