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核心参数
产地类别： 进口
衬底尺寸： 4
工艺温度： 350 -800
前驱体数： 6
重量： 160kg
尺寸(W x H x D)： 835 x 1644 x700
均匀性： ≤3%
SAL-3000Plus ALD原子层沉积系统
SAL3000Plus是一款可拓展型的ALD原子层沉积系统，可通过连接STR2000转移单元，与退火设备SAN2000Plus，镀膜设备，SVE2000Plus蒸镀设备，SSP2000Plus/SSP3000Plus磁控溅射设备搭配；
SAL-3000Plus SAL3000Plus+ STR2000+SAN2000Plus
性能及特点：
1.镀膜质量高
· 膜厚均匀性≤3% @ 100mm
· 对于内孔、凹槽与高深宽比结构具有良好的沉积均匀性；
· 膜厚可准确控制达一个原子层；
· 大面积制程可达到无孔洞薄膜（Pin Hole free）
· 极高的重复性及稳定性
· 材料缺陷密度低
· 可成长非晶型或结晶薄膜（选择温度）
2.两种成膜方向可选
· 可选择将薄膜沉积在基底上表面和基底下表面，薄膜沉积在基底下表面可降低颗粒附着基底的风险。
3. 可通过STR2000与其它Plus系列设备串联
4.最多可搭载6路前驱体
5.优异的真空性能：真空度≤5Pa
6.图形用户界面，触控操作，简单易用，可存储30多种镀膜方案
7.与SAL3000相比，宽度减少了40％
6. 可搭配多种配件：
干式真空泵，臭氧发生器，尾气处理装置，800℃基底加热器，200℃前驱体加热器等，退火设备等；
AGUS原子层沉积SAL-3000Plus的工作原理介绍
原子层沉积SAL-3000Plus的使用方法?
AGUSSAL-3000Plus多少钱一台?
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企业名称
凯戈纳斯仪器商贸（上海）有限公司
企业信息已认证
企业类型
信用代码
310000400634506
成立日期
2010-10-26
注册资本
14
经营范围
从事分析仪器及其备件、附件和部件的批发,佣金代理(拍卖除外),进出口,及其它相关配套服务(不涉及国营贸易管理商品,涉及配额、许可证管理商品的,按国家有关规定办理申请)。【依法须经批准的项目,经相关部门批准后方可开展经营活动】
凯戈纳斯仪器商贸（上海）有限公司
公司地址
上海市四平路775弄1号1115室
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