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SSP1000桌面型磁控溅射系统是一种台式紧凑系统，能够以低成本实现高沉积性能。
其独特的设计允许改变沉积方向（向上，侧向和向下），因此可以在一个简单的装置内进行三个方向的实验。
由于配备了RF电源，不仅可以溅射金属靶，而且可以溅射诸如Al2O3或SiO2等陶瓷靶材。这种系统设计紧凑，成本低，可用于各种实验。
-多样性-
由于采用立方体设计，通过简单变化即可选择溅射方向。
也可以使用磁性靶材（可选）。
标配1路工艺气体，可配置2路工艺气体。
-性能-
在基板中φ100mm的区域内，膜厚度的偏差在±5％之内。
使用标准RF电源提供的脉冲模式，也可以溅射陶瓷类靶材。
在沉积期间，基底支架可旋转或静止。
-易于使用-
紧凑的台式设备，易于安装。
腔室内安装有一个观察口。
配备阴极保护板以防止在预关闭期间基板的污染。
与阴极保护板一起工作的溅射计时器用于厚度控制。
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企业名称
凯戈纳斯仪器商贸（上海）有限公司
企业信息已认证
企业类型
信用代码
310000400634506
成立日期
2010-10-26
注册资本
14
经营范围
从事分析仪器及其备件、附件和部件的批发,佣金代理(拍卖除外),进出口,及其它相关配套服务(不涉及国营贸易管理商品,涉及配额、许可证管理商品的,按国家有关规定办理申请)。【依法须经批准的项目,经相关部门批准后方可开展经营活动】
凯戈纳斯仪器商贸（上海）有限公司
公司地址
上海市四平路775弄1号1115室
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