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核心参数
产地类别： 进口
衬底尺寸： 4
工艺温度： 350
前驱体数： 2
重量： 50
尺寸(W x H x D)： 582 x 450 x 410mm
均匀性： 3%
SAL-1000 ALD原子层沉积系统
SAL-1000Series是由日本AGUS生产的桌面型ALD原子层沉积设备，可搭载2路前驱体。适用于4英寸（φ 100mm）基片的沉积，并可搭载粉末样品架和手套箱。
SAL-1000Sseries原子层沉积设备具备如下特点：
1.良好的成膜性能，膜厚均匀性高，≤3%
· 对于内孔、凹槽与高深宽比结构具有良好的沉积均匀性；
· 膜厚可准确控制达一个原子层；
· 大面积制程可达到无孔洞薄膜（Pin Hole free）
· 极高的重复性及稳定性
· 材料缺陷密度低
· 可成长非晶型或结晶薄膜（选择温度）
2.优异的真空性能，真空度≤5Pa
3.触控操作，简单易用；
·触摸屏使用户可以轻松设置配方或沉积过程，并检查每个驱动系统的运动。
·可进行自动沉积，并在沉积完成后自动完成N2排放。
·手套箱的真空排气和惰性气体的引入也可自动完成。
4.配件丰富，可满足多种试验需求：
基底旋转架、粉末样品配件、手套箱、臭氧发生器、尾气处理设备、200℃前驱体的加热器，干式真空泵等；
粉末沉积配件：倾斜框架可调整的角度为0 ~ 45°，更便于粉末成膜。单次可对5cm3的粉体进行表面沉积；
AGUS原子层沉积SAL1000Series的工作原理介绍
原子层沉积SAL1000Series的使用方法?
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企业名称
凯戈纳斯仪器商贸（上海）有限公司
企业信息已认证
企业类型
信用代码
310000400634506
成立日期
2010-10-26
注册资本
14
经营范围
从事分析仪器及其备件、附件和部件的批发,佣金代理(拍卖除外),进出口,及其它相关配套服务(不涉及国营贸易管理商品,涉及配额、许可证管理商品的,按国家有关规定办理申请)。【依法须经批准的项目,经相关部门批准后方可开展经营活动】
凯戈纳斯仪器商贸（上海）有限公司
公司地址
上海市四平路775弄1号1115室
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