北京英格海德:高级朗缪尔探针(Langmuir Probe)在等离子体诊断中的应用
ESPion高级Langmuir探针(Advanced Langmuir Probes for Electrical Plasma Characterisation)可快速、可靠、精确地进行等离子体诊断,是最先进可靠的 Langmuir 探针。
应用:
· 蚀刻/沉积/ 清洁等离子体
· 脉冲等离子体操作
· 离子密度 (Ni & Gi)
· 电子温度(Te & EEDF)
· 电子密度(Ne)
· 等离子体电位
· Debye 长度,悬浮电位