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北京英格海德:高级朗缪尔探针(Langmuir Probe)在等离子体诊断中的应用

2017/09/14 14:45

阅读:413

分享:
应用领域:
医疗/卫生
发布时间:
2017/09/14
检测样品:
其他
检测项目:
离子密度
浏览次数:
413
下载次数:
参考标准:
--

方案摘要:

ESPion高级Langmuir探针(Advanced Langmuir Probes for Electrical Plasma Characterisation)可快速、可靠、精确地进行等离子体诊断,是最先进可靠的 Langmuir 探针。 应用: · 蚀刻/沉积/ 清洁等离子体 · 脉冲等离子体操作 · 离子密度 (Ni & Gi) · 电子温度(Te & EEDF) · 电子密度(Ne) · 等离子体电位 · Debye 长度,悬浮电位

产品配置单:

前处理设备

高级朗缪尔探针(Langmuir Probe)

型号: ESPion

产地: 英国

品牌: Hiden

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