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ESPion高级朗缪尔探针（Advanced Langmuir Probes for Electrical Plasma Characterisation）可快速、可靠、精确地进行等离子体诊断，是最先进可靠的朗缪尔探针（Langmuir Probe）。
技术参数：
应用：
· 蚀刻/沉积/ 清洁等离子体
· 脉冲等离子体操作
· 离子密度 (Ni & Gi)
· 电子温度(Te)
· 电子能量分布(EEDF)
· 电子密度(Ne)
· 等离子体电位
· Debye 长度,悬浮电位
主要特点：
· 获得数据速度：每秒15次扫描，通过D-O-E-界面可以自动、半自动或手动分析
· Hiden在被动射频补偿方面处于领先地位，在所有的商业化探针中 ESPion 具
有最高的屏蔽阻抗(4.25Mohm at 13.56 MHz cf. 100kohm)
· 高温等离子体操作时的气体制冷多感应器链，使用者可调谐至其他频率
· 参考探针补偿用于抵制较低频率影响，例如等离子体电位漂移(例如，反应室
内腔阳极氧化所致) 或噪音(例如，供电源引起)
· ESPion 是所有商业化探针中最快速的脉冲等离子体探针，ESPsoft 包括所有
必需的标准脉冲选通电路
· 300、600、915mm 自动线性驱动器可选，互锁隔离阀， 90°探针，组合式
线性－旋转驱动器可选
· 自清洗循环，防止探针尖端污染
· 经由RS232、RS485、Ethernet LAN 和 ESPsoft软件控制
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北京英格海德：高级朗缪尔探针（Langmuir Probe）在等离子体诊断中的应用
ESPion高级Langmuir探针（Advanced Langmuir Probes for Electrical Plasma Characterisation）可快速、可靠、精确地进行等离子体诊断，是最先进可靠的 Langmuir 探针。 应用： · 蚀刻/沉积/ 清洁等离子体 · 脉冲等离子体操作 · 离子密度 (Ni & Gi) · 电子温度(Te & EEDF) · 电子密度(Ne) · 等离子体电位 · Debye 长度,悬浮电位
医疗/卫生
2017/09/14
企业名称
北京英格海德分析技术有限公司
企业信息已认证
企业类型
有限责任公司(自然人投资或控股)
信用代码
91110108768489122U
成立日期
2004-10-22
注册资本
500万元
经营范围
技术开发、技术转让、技术咨询、技术服务;企业管理咨询;经济贸易咨询;企业策划、设计;市场调查;承办展览展示活动;组织文化艺术交流活动(不含营业性演出);翻译服务;设计、制作、代理、发布广告;会议服务;货物进出口、技术进出口、代理进出口;仪器仪表维修;销售计算机、软件及辅助设备、工艺品、电子产品、家用电器、机械设备、五金交电(不含电动自行车)、通讯设备、建筑材料、化工产品(不含危险化学品及一类易制毒化学品).(企业依法自主选择经营项目,开展经营活动;依法须经批准的项目,经相关部门批准后依批准的内容开展经营活动;不得从事本市产业政策禁止和限制类项目的经营活动。)
北京英格海德分析技术有限公司
公司地址
北京海淀区四季青路八号，郦城工作区235室
客服电话
公司名称： 北京英格海德分析技术有限公司
公司地址： 北京海淀区四季青路八号，郦城工作区235室 联系人： 孙先生，郑先生 邮编： 100195 联系电话： 400-860-5168转0702
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