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赛默飞世尔科技电子显微镜
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解决方案
小束斑+特色SnapMap快照成像功能分析SnOx成分半导体器件
应用领域
半导体检测样品
光电器件检测项目
无近几年来，随着国内科技产业的不断升级，对微电子器件的需求日益增加。特别是高科技产品的快速发展，比如智能手机、电脑、无人机、新能源汽车、智能机器人等，对高性能微电子器件的需求更是呈指数级增长，这使得微电子器件自然而然就成为人们研究的热点材料。在微电子器件的研究中，通常需要对微电子器件表面进行各种加工、改性处理，来使其具有不同的性能。由于X射线光电子能谱仪（XPS）是一种表面分析技术，随着商业化XPS设备的普及，其在微电子器件研究中的应用越来越广泛，逐渐成为微电子器件研究中不可或缺的分析手段。
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XPS在半导体材料的应用
应用领域
半导体检测样品
光电器件检测项目
无XPS 一般用于分析材料表面、薄膜材料和一些界面材料的元素信息。该技术无需外部校准便可得到量化的结果，很少需要或无需样品制备。XPS的应用十分广泛，包含教学研究、工业研发和第三方实验室的质量监测和控制等等。
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