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小束斑+特色SnapMap快照成像功能分析SnOx成分半导体器件
2023/03/01 13:29
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方案摘要：
产品配置单：
Nexsa G2 X 射线光电子能谱仪
型号： Nexsa G2
产地： 英国
品牌： 赛默飞
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方案详情：
本方案通过赛默飞全新一代XPS设备Nexsa G2，对半导体器件表面形成的窄条形SnOx成分进行小束斑+特色SnapMap快照成像测试，展示如何通过设备小束斑+成像功能，快速全面分析这类特殊小尺寸半导体器件表面成分及其在面内分布情况，来辅助评估表面处理效果及器件质量。
样品采用赛默飞Nexsa 系列最新表面分析平台Nexsa G2进行测试。全新一代Nexsa G2是一款自动化程度高、小束斑性能优异；同时，也可实现多技术联用的高性能、高效率表面分析平台。设备特色的SnapMap快照成像功能，成像测试速度快，可实现高效成像分析。
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