使用自动化颗粒工作流程，进行金属中的析出相分析

近几年来，随着国内科技产业的不断升级，对微电子器件的需求日益增加。特别是高科技产品的快速发展，比如智能手机、电脑、无人机、新能源汽车、智能机器人等，对高性能微电子器件的需求更是呈指数级增长，这使得微电子器件自然而然就成为人们研究的热点材料。在微电子器件的研究中，通常需要对微电子器件表面进行各种加工、改性处理，来使其具有不同的性能。由于X射线光电子能谱仪（XPS）是一种表面分析技术，随着商业化XPS设备的普及，其在微电子器件研究中的应用越来越广泛，逐渐成为微电子器件研究中不可或缺的分析手段。

XPS 一般用于分析材料表面、薄膜材料和一些界面材料的元素信息。该技术无需外部校准便可得到量化的结果，很少需要或无需样品制备。XPS的应用十分广泛，包含教学研究、工业研发和第三方实验室的质量监测和控制等等。

酸洗是一种非常重要的钢材表面处理方式，尤其用于确保钢材表面均匀、无污渍、无氧化物。酸洗工艺需要使用酸性溶液，还要进行适当清洗，以防钢材表面形成酸污染。 在本篇应用说明中，为研究污染产生的根本原因，我们分析了酸洗钢被污染的表面。使用Axia ChemiSEM研究了缺陷处的形貌特征和化学组成，在1分钟内得到元素面分布图，表面显微特征基于成分着色，从而快速发现表面污染物中富含氯化物，说明在清洗步骤完成后，钢材表面接触到了酸洗液滴。

透射电子显微镜（TEM）非常适合用于纳米颗粒表征，因为使用TEM可以获得大量的纳米级高质量数据。Thermo Scientific™ 自动化颗粒工作流程（APW）是用于 Thermo Scientific TEM 仪器图像采集和实时数据分析的工作流程。APW 将我们独特的硬件和软件整合到一个用于纳米颗粒表征的优化解决方案中，其包含的软件和硬件组成了简化的自动化过程，可控制数据采集和处理。 APW 提供全自动和无需人员值守的 TEM 和扫描透射电子显微镜（STEM）成像以及X 射线能量色散谱（EDS），为您提供有关催化纳米颗粒的微观结构和化学组成的统计学相关信息。使用APW 不需要 TEM 专业知识，即使是新手也能获取这些重要信息。APW 还可以实现快速样品周转，通过快速可靠地筛选新材料来降低单次测量成本并革新产品开发。催化推动行业发展，APW 则使您能够通过快速而简便的纳米颗粒分析，开发出更高效的催化剂。