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核心参数
产地类别： 国产
面向半导体晶圆检测的光谱测试系统
物镜 | 5x NA=0.28 | 20x NA=0.40 | 100x NA=0.8 |
离焦量z分辨率 | < 1 μm | < 0.5 μm | < 0.06 μm |
激光光斑尺寸（焦点处） | ~2 μm | ~2 μm | ~1 μm |
测量时间（刷新频率） | < 20 ms(50 Hz），可调节最高100 Hz | ||
MicroLED微盘的荧光强度3D成像
性能参数：
荧光激发和收集模块 | 激光波长 | 213/266/375 nm |
激光功率 | 213nm激光器，峰值功率＞2.5kw@1KHZ，266nm激光器，输出功率2-12mw可调 | |
自动对焦 | • 在全扫描范围自动聚焦和实时表面跟踪 • 对焦精度<0.2微米
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显微镜 | •用于样品定位和成像 •近紫外物镜，100X/20X，用于375nm激光器,波长范围355-700 nm •紫外物镜, 5X,用于213 nm/266nm的紫外激发, 200-700 nm
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样品移动和扫描平台 | 平移台 | •扫描范围大于300x300mm。 •最小分辨率1微米。
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样品台 | •8寸吸气台（12寸可定制） •可兼容2、4、6、8寸晶圆片
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光谱仪 探测器
| 光谱仪 | •320 mm焦长单色仪，可接面阵探测器。 •光谱分辨率：优于0.2nm@1200g/mm
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可升级模块 | 翘曲度测量模块 | 重复测量外延片统计结果的翘曲度偏差<±5um |
紫外测量模块 | 5X紫外物镜，波长范围200-700 nm。应用于213 nm、266nm的紫外激发和侧面收集实现AlGaN紫外荧光的测量 | |
膜厚测试模块 | 重复测量外延片Mapping统计结果的膜厚偏差<±0.1um | |
荧光寿命测试模块 | 荧光寿命测试精度8 ps，测试范围50 ps-1 ms | |
软件 | 控制软件 | 可选择区域或指定点位自动进行逐点光谱采集 |
Mapping数据分析软件 | •可对光谱峰位、峰高、半高宽等进行拟合。 •可计算荧光寿命、薄膜厚度、翘曲度等。 •将拟合结果以二维图像方式显示。
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企业名称
北京卓立汉光仪器有限公司
企业信息已认证
企业类型
有限责任公司(法人独资)
信用代码
91110112102387306K
成立日期
1999-07-19
注册资本
5000万元
经营范围
生产、维修光谱仪及附件、光谱测量系统、精密位移台、光学调整架、光学平台;技术服务;技术检测(不含技术认证);技术推广;销售光谱仪及附件、光谱测量系统、精密位移台、光学调整架、光学平台;货物进出口、技术进出口、代理进出口;出租办公用房;委托加工光谱仪及附件、精密位移台、光学调整架、光学平台;租赁光学仪器专用设备。(企业依法自主选择经营项目,开展经营活动;依法须经批准的项目,经相关部门批准后依批准的内容开展经营活动;不得从事本区产业政策禁止和限制类项目的经营活动.)
北京卓立汉光仪器有限公司
公司地址
北京市中关村科技园区通州园金桥产业基地环科中路16号，联东U谷中试区68号B座
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