ESS 氦质谱检漏仪在真空验证中的应用

氦质谱检漏仪定义是用氦气作示漏气体，以气体分析仪检测氦气而进行检漏的质谱仪。

氦气作为惰性气体，不会腐蚀设备，且在容器环境和质谱环境中干扰较少，信号较纯，因而

常用氦作示漏气体。将这种气体喷到接有检漏仪（即调整到仅对氦气反应的工作状态的气体

分析仪）的被检容器上，若容器有漏孔，则分析仪即有所反应，从而可知漏孔所在及漏气量

大小。

氦质谱检漏技术是真空检漏领域里不可缺少的一种技术，由于检漏效率高，简便易操作，仪

器反应灵敏，精度高，不易受其他气体的干扰，在电阻炉检漏中得到了广泛应用。

以西格玛旗下的 SAFC Hitech 子公司为例

Epichem (Epichem Limited,特殊气体分部) 要求 ESS 设计并建造了一套检测系统, 用于泵压、

烘烤、真空检漏、正压泄漏检测以及有机金属起泡剂的制备气认证。

起泡器 (过去常用于向半导体工业提供有机金属) 是一些体积较小的金属罐，配置有进出阀。

由于具有高真空超洁净的特点，因此起泡器在填充前要求相当的洁净。同时，由于起泡器内

填充的是氧气，避免泄漏发生爆炸也至关重要。

针对此应用，ESS 开发出了一种特殊的双进样端口的质谱系统，它具有一个经校准的正压泄

漏测试模块，还具有一个自动化的高真空测试模块。

首先，将起泡器放置于平台上。使用氦气填充至一定压力，所有的接头都使用正压泄漏检测

装置“嗅辨”一下。任何检测到的泄漏记录与起泡器序列号一一对应，发生任何超过用户设

置的zui大允许结果泄漏的起泡器都会被拒绝放行。

然后将起泡器安装 10 个一排的装置上，该装置配有无油前级泵和涡轮分子泵。在软件完全

控制下，外部管线抽真空并保持状态，然后操作者使用外喷雾检查所有接头时， 质谱系统

可以监测任何氦泄漏。

若通过泄漏测试，将起泡器抽真空、烘烤。测试结束时，质谱系统会自动分析起泡器和接头

管线中的气体。为保证测试结果，所有起泡器中的水，氧和溶剂的浓度必须低于 1 ppm。

测试结束时，会提醒操作人员，并显示测试结果是通过还是拒绝，所有测试数据将会被记录，

便于溯源。

推荐：ESS REACTORR 系列质谱仪

Reactorr-s 质谱仪

与 ReacTorr-V 具有相同的硬件平台

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英国 ESS 产品

ESS 公司是世界一流的高质量质谱系统制造商，开发了一系列气体分析应用，和制造了气体

分析专用的 ms 监测系统。

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