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牛津仪器为ITRI提供用于MicroLED开发的等离子刻蚀解决方案
牛津仪器等离子部（OIPT）— 等离子刻蚀与沉积光电解决方案供应商，宣布位于台湾新竹的工业技术研究院(ITRI)已选择采用OIPT多套包含刻蚀与沉积的PlasmaPro 100系统用于他们的MicroLEDs研发项目。
ITRI作为世界知名的技术研发机构之一，推动了台湾的产业向创新方向转型。该机构自成立以来共孵化了270多家创新型企业，其中包括联华电子(UMC)、台积电(TSMC)等知名企业。电子与光电子系统研究实验室副主任方博士评论说：“ITRI与牛津仪器的密切合作关系是建立在其拥有高端技术的基础上，但这并不仅仅是我们选择他们作为新系统供应商的关键原因。他们的应用解决方案，优秀的本地流程支持以及与我们的工业合作伙伴将实验室开发培育成生产标准的能力，是我们决定采购的关键因素。”
PlasmaPro 100 ICP工艺解决方案旨在支持前沿设备应用，如激光、射频、功率器件和LEDs先进制造。
“LEDs下一个激动人心的发展阶段即将来临，在此刻我们很高兴能与ITRI合作，共同开发MicroLED项目，该技术已被应用于三星壁式电视，” 牛津仪器等离子部战略营销经理Robert Gunn评论道，“ITRI已和许多研究机构及其他新进入该领域的公司一样采用了牛津仪器等离子部的工艺解决方案来应对这个快速发展的市场。“
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