扫描式光刻机
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NIKON

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Nikon S204B

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亚洲

  • 银牌
  • 第2年
  • 一般经销商
  • 营业执照已审核
核心参数
Nikon S204B
Nikon S204B扫描式光刻机
光源波长248nm
分辨率优于0.18µm
主要用于4寸、6寸及8寸生产线
广泛应用于化合物半导体、MEMS、LED等领域
产品详情
主要技术指标

分辨率0.18µm
N.A.0.68
曝光光源248nm
倍率4:1
最大曝光现场25mm*33mm
对准精度

LSA:40nm
FIA:45nm




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提供中英文软件及4"、6"、8"设备硅片改造

常年提供所有备件、耗材

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售后服务承诺

产品货期: 60天

整机质保期: 1年

培训服务: 安装调试现场免费培训

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