SIMS及APT系列

自20世纪60年代首创二次离子质谱仪以来，CAMECA已经开发了一套完整的SIMS产品系列。我们的每款高端仪器均确保为特定应用提供最佳性能。 

CAMECA原子探针断层分析术产品系列包括LEAP 5000系列和 EIKOS APT系列。CAMECA原子探针是与法国鲁昂大学的GPM材料研究小组合作开发。

CAMECA：SIMS及APT全球领导者 ：

多功能SIMS工具：高通量和全自动化的基准检测灵敏度

MS 7f-Auto是获得成功的IMS xf二次离子质谱仪(SIMS)产品系列的最新型号。旨在提高高精度元素和

同位素分析的易用性和生产率，已针对玻璃、金属、陶瓷、硅基，III-V和II-VI族化合物器件、散装物料、

薄膜等一系列颇具挑战性的应用进行改良，可充分满足行业对高效器件开发和过程控制的要求。

用于解决各种分析问题的关键分析功能

IMS 7f-Auto提供了具有高深度分辨率和高动态范围的无与伦比的深度剖析功能。高透射质谱仪与两种反应性高密度离子源（O2+和Cs+）相结合，从而提供高溅射速率和极低的检出限。独特的光学设计可实现直接离子显微镜和扫描探针成像。 

提高自动化和作业效率

IMS 7f-Auto配有重新设计的同轴一次离子枪筒，可以更轻松、更快速地进行一次离子束调谐，并优化一次离子束流稳定性。新的自动化程序最大限度地减少了由操作员引起的偏差并提高了易用性。带有自动装载/卸载样品架的电动储存室通过分析链和远程操作确保高通量。 

在高通量下实现高再现性

借助新型电动储存室和样品转移，IMS 7f-Auto能分析链式或远程模式下的多个样品。测量可完全无人值守和自动化，无与伦比的通量和可再现性。可实现极高可再现性(RSD<0.5％)、极低的检出限、高通量和高生产率(工具可每天24小时使用，几乎无需操作员干预)。

LEAP 5000

三维原子探针显微镜具有无与伦比的三维亚纳米分析性能。LEAP 5000是CAMECA的尖端原子探针显微镜，可在各种金属、半导体和绝缘体上提供卓越的探测效率：每立方纳米的分析可探测到40％以上的额外原子。

LEAP 5000能够在短短数小时内收集来自微型数据集的纳米级信息，同时提高组分准确度、精密度、检出限和样品通量，增加产量并实现最佳再现性。

• 提高探测效率，实现无以伦比的灵敏度

• 大视场和探测均质性——最佳三维空间分辨率

• 出色的多重命中探测功能可以实现最精确的组分测量 

• 用于超高速数据采集的快速和可变重复率  

• 功能强大且符合人体工程学的平台可提高易用性并缩短熟悉时间 

• 实时监测以确保每次测量都能获得最高质量的数据 

• 先进的激光控制算法可显著提高样品收率 

LEAP 5000 XS

结合新飞行路径技术和优化探测器性能，提供更大视场，同时实现无可匹敌探测效率(约80％)，高于任何其他同类分析技术！此外，先进的激光脉冲模块能提供高达2 MHz重复率，使LEAP 5000 XS在效率和生产率方面达到最高水平。

LEAP 5000 XR

结合先进反射器设计和优化探测器性能(探测效率提高至约50％)，具备重复率高达500kHz先进激光脉冲优点。LEAP 5000 XR是众多研究和开发应用中功能最强大的原子探针。

LEAP 5000 R

凭借能增加40％的脉冲幅度并提供高达500 kHz脉冲重复率的改进电压脉冲系统，结合新型先进反射器设计和优化探测器性能，LEAP 5000 R已成为有史以来功能最强大的电压型原子探头。

应用