Film Sense 多波长椭偏仪 FS-1™

 Film Sense FS-1™多波长椭偏仪采用寿命长， LED 光源和非移动 式部件椭偏探测器，可在操作简单的紧凑型椭偏仪中实现快速和可靠地薄膜测量。大多数厚度 0–1000 nm 的透明薄膜只需要简单的 1 秒测量，就可以获得准确的数据。还可以测量大多数样品的光学常数和其他薄膜特性。

  Film Sense FS-1™多波长椭偏仪 这款功能强大的多波长椭偏仪，FS-1可应用于研究实验室，超净间，原位工艺腔体以及工业质量控制等诸多领域。

主要特点

1. 4 个 LED 光源：蓝色（465nm），绿色（525nm）， 黄色（580nm），红色（635nm）。

2. 椭偏仪探测器中无可移动部件。

3. 大多数样品精密度在于 0.001nm（1 秒获取数据），对于亚单原子薄膜精密度等于0.001nm。

4. 集成计算机，可实现对设备控制和数据分析，自带浏览器界面，可兼容任何现代计算机，笔记本或平板电脑。

优势

1. 寿命长（长达50,000小时），更换 LED 灯便宜，校准时间短或无需PM程序

2. 快速测量（10ms 内获得多波长数据）和长期性能稳定

3. 测量准确，椭偏仪可以实现

4. 软件设置和维护简单

标准 FS-1 配置

1. 65°入射角

2. 手动放置样品和调节高度

3. 样品尺寸最大直径200mm 和厚度23mm

4. 样品偏转范围+/-20

5. 样品上光束尺寸 5 x 12 mm

6. 结构紧凑(180 x 400 mm) 和轻巧(4.8 kg)

性能

    FS-1多波长椭偏仪擅长测量膜厚范围 0-1000nm 的透明单一薄膜的厚度和折射率。下表列出的是针对各种不同样品，包括多层膜样品。

应用领域

1. 半导体行业：二氧化硅和氮化物，高介电和低介电材料，非晶和多晶材料，硅薄膜，光刻胶。

2. 光学薄膜行业：高和低指数薄膜，如 SiO2, TiO2, Ta2O5, MgF2 等。

3. 显示屏行业：TCO（如 ITO），非晶硅薄膜，有机薄 膜（OLED 技术）。

4. 数据存储行业：宝石，如碳膜。

5. 工艺研发：原位表征薄膜沉积（速率和光学常数） VS 工艺条件，可兼容 MBE, MOCVD, ALD 和磁控溅射等设备。

6. 化学和生物：在液体细胞实验中探测亚单原子层材料吸附。

7. 工业：在线监测和控制膜厚。