仪器种类： 落地式/传统大型
电子枪种类： 热场发射
产地类别： 国产
二次电子图象分辨率： 0.8 nm@15 kV
放大倍数： 1 ~ 2,500,000 x
加速电压： 20V ～ 30 kV
背散射电子图像分辨率： 0.8 nm @ 15 kV，SE 1.2 nm @ 1 kV，SE
最大样品尺寸： 直径≥260mm，高≥53mm
样品台： 五轴全自动样品台，X=110 mm，Y=110 mm，Z=50 mm T: -10° ~+70°，R: 360°
检测器系统： 镜筒内高角度电子探测器、背散射电子探测器、侧向二次电子探测器
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国仪量子场发射扫描电镜SEM5000Pro
产品介绍
SEM5000Pro是一款分辨率高、功能丰富的场发射扫描 电子显微镜。先进的镜筒设计，高压隧道技术(SuperTunnel)、 低像差无漏磁物镜设计，实现了低电压高分辨率成像，同时磁 性样品可适用。光学导航、完善的自动功能、精心设计的人机 交互，优化的操作和使用流程，无论经验是否丰富，都可以快 速上手，完成高分辨率拍摄任务。
电子枪类型 肖特基场发射电子枪
加速电压 20V ~ 30 kV
分辨率 0.8 nm @ 15 kV, SE 1.2nm @ 1 kV, SE
样品台 五轴全自动样品台
放大倍率 1 ~ 2,500,000 x
产品特点
分辨率高，低加速电压下实现高分辨成像
高压隧道技术(SuperTunnel) ，在隧道中的电子能保持高能量，减少了空间电荷效应，低电压分辨率得到保证
电磁复合物镜，减小像差，显著提高低电压下的分辨率，而且可观察磁性样品
电子光路无交叉，有效的降低系统像差，提升分辨能力
水冷恒温物镜，保证物镜工作的稳定性、可靠性和可重复性
磁偏转六孔可调光阑，自动切换光阑孔，无需机械调节，实现高分辨率观察或大束流分析模式快速切换
应用领域
规格参数
| 关键参数 | 分辨率 | 0.8 nm @15 kV,SE 1.2 nm @1.0 kV,SE |
| 加速电压 | 20V~30 kV | |
| 放大倍率 | 1~2,500,000x | |
| 电子枪类型 | 肖特基场发射电子枪 | |
| 样品室 | 真空系统 | 全自动控制 |
| 摄像头 | 双摄像头 (光学导航+样品仓内监控) | |
| 样品台行程 | X=110mm,Y=110 mm,Z=50 mm T:-10°~+70°,R:360° | |
| 探测器 和扩展 | 标配 | 镜筒内电子探测器 旁侧二次电子探测器(ETD) |
| 选配 | 插入式背散射电子探测器(BSED) 插入式扫描透射探测器(STEM) 能谱仪(EDS) 背散射衍射(EBSD) 样品交换仓 轨迹球&旋钮控制板 | |
| 软件 | 语言 | 中文 |
| 操作系统 | Windows | |
| 导航 | 光学导航、手势快捷导航 | |
| 自动功能 | 自动亮度对比度、自动聚焦、自动像散 |
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| 用户单位 | 采购时间 |
|---|---|
| 中国科学院上海光学精密机械研究所 | 2022-12-01 |
保修期: 1年
是否可延长保修期: 是
现场技术咨询: 有
免费培训: 现场技术培训和年度系统培训
免费仪器保养: 根据合同约定
保内维修承诺: 非人为损坏免费上门维修，部件免费更换，消耗品除外
报修承诺: 24小时全天候响应，确保国内客户24小时内给予明确解决方案，48小时内到场维修
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