仪器种类: 落地式/传统大型
电子枪种类: 热场发射
产地类别: 国产
二次电子图象分辨率: 0.8 nm@15 kV
放大倍数: 1 ~ 2,500,000 x
加速电压: 20V ~ 30 kV
背散射电子图像分辨率: 0.8 nm @ 15 kV,SE 1.2 nm @ 1 kV,SE
最大样品尺寸: 直径≥260mm,高≥53mm
样品台: 五轴全自动样品台,X=110 mm,Y=110 mm,Z=50 mm T: -10° ~+70°,R: 360°
检测器系统: 镜筒内高角度电子探测器、背散射电子探测器、侧向二次电子探测器
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国仪量子场发射扫描电镜SEM5000Pro
产品介绍
SEM5000Pro是一款分辨率高、功能丰富的场发射扫描 电子显微镜。先进的镜筒设计,高压隧道技术(SuperTunnel)、 低像差无漏磁物镜设计,实现了低电压高分辨率成像,同时磁 性样品可适用。光学导航、完善的自动功能、精心设计的人机 交互,优化的操作和使用流程,无论经验是否丰富,都可以快 速上手,完成高分辨率拍摄任务。
电子枪类型 肖特基场发射电子枪
加速电压 20V ~ 30 kV
分辨率 0.8 nm @ 15 kV, SE 1.2nm @ 1 kV, SE
样品台 五轴全自动样品台
放大倍率 1 ~ 2,500,000 x
产品特点
分辨率高,低加速电压下实现高分辨成像
高压隧道技术(SuperTunnel) ,在隧道中的电子能保持高能量,减少了空间电荷效应,低电压分辨率得到保证
电磁复合物镜,减小像差,显著提高低电压下的分辨率,而且可观察磁性样品
电子光路无交叉,有效的降低系统像差,提升分辨能力
水冷恒温物镜,保证物镜工作的稳定性、可靠性和可重复性
磁偏转六孔可调光阑,自动切换光阑孔,无需机械调节,实现高分辨率观察或大束流分析模式快速切换
应用领域
规格参数
关键参数 | 分辨率 | 0.8 nm @15 kV,SE 1.2 nm @1.0 kV,SE |
加速电压 | 20V~30 kV | |
放大倍率 | 1~2,500,000x | |
电子枪类型 | 肖特基场发射电子枪 | |
样品室 | 真空系统 | 全自动控制 |
摄像头 | 双摄像头 (光学导航+样品仓内监控) | |
样品台行程 | X=110mm,Y=110 mm,Z=50 mm T:-10°~+70°,R:360° | |
探测器 和扩展 | 标配 | 镜筒内电子探测器 旁侧二次电子探测器(ETD) |
选配 | 插入式背散射电子探测器(BSED) 插入式扫描透射探测器(STEM) 能谱仪(EDS) 背散射衍射(EBSD) 样品交换仓 轨迹球&旋钮控制板 | |
软件 | 语言 | 中文 |
操作系统 | Windows | |
导航 | 光学导航、手势快捷导航 | |
自动功能 | 自动亮度对比度、自动聚焦、自动像散 |
用户单位 | 采购时间 |
---|---|
中国科学院上海光学精密机械研究所 | 2022-12-01 |
保修期: 1年
是否可延长保修期: 是
现场技术咨询: 有
免费培训: 现场技术培训和年度系统培训
免费仪器保养: 根据合同约定
保内维修承诺: 非人为损坏免费上门维修,部件免费更换,消耗品除外
报修承诺: 24小时全天候响应,确保国内客户24小时内给予明确解决方案,48小时内到场维修
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