仪器种类: 落地式/传统大型
电子枪种类: 热场发射
产地类别: 国产
二次电子图象分辨率: 1.0 nm @ 15 kV
放大倍数: 1 x ~ 1,000,000 x
加速电压: 20V ~ 30 kV
背散射电子图像分辨率: 1.0 nm @ 15 kV
样品台: 五轴全自动样品台,X=120mm,Y=115mm,Z=48mm,R=360°,T:-10°~+90°
检测器系统: 镜筒内高角度电子探测器、背散射电子探测器、侧向二次电子探测器
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场发射扫描电子显微镜SEM5000
产品介绍
SEM5000是一款分辨率高、功能丰富的场发射扫描电子显微镜。
先进的镜筒设计,高压隧道技术(SuperTunnel)、低像差无漏磁物镜设计,实现了低电压高分辨率成像,同时磁性样品可适用。光学导航、完善的自动功能、精心设计的人机交互,优化的操作和使用流程,无论经验是否丰富,都可以快速上手,完
成高分辨率拍摄任务。
电子枪类型 肖特基场发射电子枪
加速电压 20V ~ 30 kV
分辨率 1 nm @ 15 kV, SE 1.5nm @ 1 kV, SE 0.8nm@30KV, STEM
样品台 五轴全自动样品台
放大倍率 1 ~ 2,500,000 x
产品特点
分辨率高,低加速电压下实现高分辨成像
电磁复合物镜,减小像差,显著提高低电压下的分辨率,而且可观察磁性样品
高压隧道技术(SuperTunnel) ,在隧道中的电子能保持高能量,减少了空间电荷效应,低电压分辨率得到保证
电子光路无交叉,有效的降低系统像差,提升分辨能力
水冷恒温物镜,保证物镜工作的稳定性、可靠性和可重复性
磁偏转六孔可调光阑,自动切换光阑孔,无需机械调节,实现高分辨率观察或大束流分析模式快速切换
应用领域
规格参数
电子光学系统
分辨率 1.0 nm @ 15 kV, SE
1.5 nm @ 1 kV, SE
0.8nm@30KV, STEM
放大倍率 1 x ~ 2,500,000 x
加速电压 20V ~ 30 kV
电子枪类型 肖特基场发射电子枪
探测器及拓展
标配 镜筒内高角度电子探测器
侧向二次电子探测器
选配 插入式背散射电子探测器
STEM自动插入式扫描透射探测器
样品交换仓
高速束闸和电子束曝光
EDS能谱仪
EBSD背散射衍射
EBIC电子束感生电流
CL阴极荧光
高低温原位拉伸台
纳米机械手
大图拼接
轨迹球 & 旋钮控制板
样品室
真空系统 全自动控制,无油真空系统
摄像头 双摄像头
( 光学导航 + 样品仓内监控 )
样品台配置行程
X: 120 mm
Y: 115 mm
Z: 50mm
R: 360°
T: -10°~ +90°
软件
语言 中文
操作系统 Windows
导航 光学导航、手势快捷导航
自动功能 自动亮度对比度、自动聚焦、自动像散
保修期: 1年
是否可延长保修期: 是
现场技术咨询: 有
免费培训: 现场技术培训和年度系统培训
免费仪器保养: 根据合同约定
保内维修承诺: 非人为损坏免费上门维修,部件免费更换,消耗品除外
报修承诺: 24小时全天候响应,确保国内客户24小时内给予明确解决方案,48小时内到场维修
最多添加5台