仪器种类: 落地式/传统大型
电子枪种类: 热场发射
产地类别: 国产
二次电子图象分辨率: 0.9nm @ 30 kV,SE
放大倍数: 1 x ~ 1,000,000 x
加速电压: 200V ~ 30 kV
背散射电子图像分辨率: 2.5 nm @ 30 kV,BSE,30 Pa
样品台: 五轴全自动样品台,X=110 mm,Y=110 mm,Z=65 mm,R=360°,T:-10°~+70°
检测器系统: 旁侧二次电子探测器(ETD)、低真空二次电子探测器(LVD)、插入式背散射电子探测器(BSED)
1.无漏磁物镜设计,可直接观察磁性样品 2.三级磁透镜设计,束流可调范围大,最大支持200 nA的分析束流
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SEM4000Pro是一款分析型热场发射扫描电子显微镜,配备了高亮度、长寿命的肖特基场发射电子枪。三级磁透镜设计,束流最大可达200 nA,在EDS、EBSD、WDS等应用上具有明显优势。标配低真空模式,以及高性能的低真空二次电子探测器和插入式背散射电子探测器,可观察导电性弱或不导电样品。标配的光学导航模式,以及直观的操作界面,让您的分析工作倍感轻松。
产品特点
配备高亮度、长寿命的肖特基场发射电子枪
分辨率高,30kV下优于0.9nm的极限分辨率
三级磁透镜设计,束流可调范围大,最大支持 200 nA 的分析束流
标配低真空模式,以及高性能的低真空二次电子探测器和插入式背散射电子探测器
无漏磁物镜设计,可直接观察磁性样品
标配的光学导航模式,中文操作软件,让分析工作更轻松
应用案例
产品参数
关键参数 | 高真空分辨率 | 0.9 nm @ 30 kV,SE |
低真空分辨率 | 2.5 nm @ 30 kV,BSE,30 Pa | |
1.5 nm @ 30 kV, SE, 30 Pa | ||
加速电压 | 200 V ~ 30 kV | |
放大倍率 | 1 ~ 1,000,000 x | |
电子枪类型 | 肖特基热场发射电子枪 | |
样品室 | 真空系统 | 全自动控制 |
低真空模式 | 最大180 Pa | |
摄像头 | 双摄像头 | |
(光学导航+样品仓内监控) | ||
行程 | X=110 mm,Y=110 mm,Z=65 mm | |
T: -10°~+70°,R: 360° | ||
探测器和扩展 | 标配 | 旁侧二次电子探测器(ETD) |
低真空二次电子探测器(LVD) | ||
插入式背散射电子探测器(BSED) | ||
选配 | 能谱仪(EDS) | |
背散射衍射(EBSD) | ||
插入式扫描透射探测器(STEM) | ||
样品交换仓 | ||
轨迹球&旋钮控制板 | ||
软件 | 语言 | 中文 |
操作系统 | Windows | |
导航 | 光学导航、手势快捷导航 | |
自动功能 | 自动亮度对比度、自动聚焦、自动像散 |
保修期: 1年
是否可延长保修期: 是
现场技术咨询: 有
免费培训: 现场技术培训和年度系统培训
免费仪器保养: 根据合同约定
保内维修承诺: 非人为损坏免费上门维修,部件免费更换,消耗品除外
报修承诺: 24小时全天候响应,确保国内客户24小时内给予明确解决方案,48小时内到场维修
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