产地类别： 国产
衬底尺寸： 4-12英寸
工艺温度： 常温-400℃
前驱体数： 4-8路
重量： 500kg
尺寸(W x H x D)： 800*720*1000mm
均匀性： 参考样品台尺寸
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反应腔体 | 横流模式的单腔反应腔/喷淋模式的双腔反应腔 |
衬底规格 | 4-12寸单片 三维复杂衬底/粉末与颗粒/多孔及高纵深比材料 RT-400 oC，控制精度±1 oC @单腔 RT-500 oC，控制精度±1 oC @双腔 |
阀门 | Swagelok专用ALD阀门，耐热温度200 oC |
前驱体源 | 液态、固态、气态以及臭氧源，容器标准50 mL挥发式容器和100 mL载气辅助式容器，其他规格可定制 最高可配备8路前驱体源 |
载气 | Ar，质量流量控制器 |
管路源容器加热温度 | 配可拆卸加热套，RT-250 oC，控制精度±1 oC |
真空系统 | 油泵、防腐油泵、干泵可选 |
压力传感器 | 检测范围1000-2.3*10-4 Torr |
真空管路 | 烘烤至200℃，且真空泵前级配置热阱，加热温度300℃ |
控制 | 触摸屏+PLC/选配电脑 |
机柜 | 可移动铝型材框架，不锈钢面板 最小尺寸：720*700*1000mm 最大尺寸：1000*1000*1000mm |
选配 | 臭氧发生器/粉末沉积盘/手套箱耦合/ QCM 尾气处理装置 |
保修期: 1年
是否可延长保修期: 否
现场技术咨询: 无
免费培训: 3人次技术培训
免费仪器保养: 3月1次
保内维修承诺: 免费维修更换零件
报修承诺: 2小时内响应，24小时内到达现场进行维修
